[发明专利]阵列基板、显示基板的制作方法、显示基板及显示面板

摘要

本发明公开了一种阵列基板、显示基板的制作方法、显示基板及显示面板，所述阵列基板包括：玻璃基板；栅极电极层，形成在所述玻璃基板上；绝缘层，覆盖在所述玻璃基板和所述栅极电极层上；半导体层，覆盖在所述绝缘层上；n型掺杂石墨烯层，形成在所述半导体层上；源极和漏极电极层，形成在所述n型掺杂石墨烯层上。通过上述方式，本发明能够很好的导通半导体层与金属电极层，显著提高半导体器件的性能。

主权项

1.一种阵列基板，其特征在于，所述阵列基板包括：玻璃基板；栅极电极层，形成在所述玻璃基板上；绝缘层，覆盖在所述玻璃基板和所述栅极电极层上；半导体层，覆盖在所述绝缘层上；n型掺杂石墨烯层，形成在所述半导体层上，所述n型掺杂石墨烯层具有纳米级图案，其包括第一n型掺杂石墨烯层和第二n型掺杂石墨烯层，所述第一n型掺杂石墨烯层和所述第二n型掺杂石墨烯层间隔设置，且位于所述栅极电极层垂直上方的两端，所述第一n型掺杂石墨烯层和所述第二n型掺杂石墨烯层分别与所述栅极电极层部分重叠；源极和漏极电极层，形成在所述n型掺杂石墨烯层上；其中，所述n型掺杂石墨烯层用于导通所述半导体层与所述源极电极层、还用于导通所述半导体层与所述漏极电极层；所述n型掺杂石墨烯层为氮掺杂石墨烯层，所述氮掺杂石墨烯由氧化石墨烯分散液以及尿素形成，所述氧化石墨烯分散液的浓度为0.1～5mg/mL，所述氧化石墨烯分散液中的氧化石墨烯与所述尿素中的纯净尿素的质量比为1：5～1：50。