[发明专利]有机互补型非门器件的制备方法在审

专利信息
申请号: 201710259995.7 申请日: 2017-04-20
公开(公告)号: CN107104188A 公开(公告)日: 2017-08-29
发明(设计)人: 张文显 申请(专利权)人: 上海幂方电子科技有限公司
主分类号: H01L51/05 分类号: H01L51/05;H01L21/84
代理公司: 北京睿派知识产权代理事务所(普通合伙)11597 代理人: 刘锋
地址: 201612 上海市松江区上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 本申请提供了一种有机互补型非门器件的制备方法,形成一个柔性基底;在柔性基底上打印形成第一导电层,作为有机互补型非门器件内部的N沟道OFET和P沟道OFET的共用栅极;在第一导电层上打印形成电介质层;在电介质层上打印形成第二导电层,作为N沟道OFET的源极、P沟道OFET的源极以及N沟道OFET和P沟道OFET的共用漏极,源极和共用漏极之间存在未覆盖电介质层的沟道;相应的在沟道位置打印或者滴膜形成有机半导体层。使有机互补型非门器件制备过程更简易,成本更低廉。
搜索关键词: 有机 互补 非门 器件 制备 方法
【主权项】:
一种有机互补型非门器件的制备方法,其特征在于,包括:形成一个柔性基底;在所述柔性基底上打印形成第一导电层,作为所述有机互补型非门器件内部的N沟道OFET和P沟道OFET的共用栅极;在所述第一导电层上打印形成电介质层;在所述电介质层上打印形成第二导电层,作为所述N沟道OFET的源极、P沟道OFET的源极以及N沟道OFET和P沟道OFET的共用漏极,所述源极和共用漏极之间存在未覆盖所述电介质层的沟道;相应的在所述沟道位置打印或者滴膜形成有机半导体层。
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