[发明专利]射频开关器件

摘要

本发明提供一种射频开关器件，包括依次堆叠配置或串联连接的多个串联晶体管，相邻两个串联晶体管的连接点为串联节点，至少一个串联节点和地之间设有寄生电容，设置的寄生电容可以有效提高射频开关器件的输入端和输出端之间的隔离度。

主权项

1.一种射频开关器件，其特征在于，包括依次堆叠配置或串联连接的多个串联晶体管，相邻两个串联晶体管的连接点为串联节点，至少一个串联节点和地之间设有寄生电容；所述射频开关器件还包括绝缘体上半导体衬底以及位于所述绝缘体上半导体衬底上方的第一金属层，所述绝缘体上半导体衬底包括依次堆叠的半导体基底、位于所述半导体基底上的绝缘埋层以及位于所述绝缘埋层上的顶层半导体层，所述顶层半导体层设有多个相互隔离的串联晶体管有源区，每个串联晶体管有源区形成有一个所述串联晶体管，所有串联晶体管通过所述第一金属层串联；每个所述寄生电容的一个电极板为所述寄生电容所在处的串联晶体管有源区；每个所述寄生电容的另一个电极板为部分所述第一金属层，或者为位于所述第一金属层上方的第二金属层，或者为位于所述顶层半导体层中的相应的额外有源区，所述第二金属层位于相应的串联晶体管有源区的外侧并与所述相应的串联晶体管有源区隔离且接地，所述额外有源区位于相应的串联晶体管有源区的外侧并与所述相应的串联晶体管有源区隔离；当有多个串联节点和地之间设有寄生电容时，所有寄生电容的所述另一个电极板在所有串联晶体管有源区一侧连接为一个整体且呈梳状结构，所述梳状结构的梳齿自由端靠近相应的串联晶体管有源区且与所述相应的串联晶体管有源区隔离，所述梳状结构的梳背接地。/n