[发明专利]反应腔室的进气机构、反应腔室及外延生长设备

摘要

本发明提供的反应腔室的进气机构、反应腔室及外延生长设备，其包括进气腔体和匀流板，进气腔体包括朝向反应腔室的进气端面，匀流板设置在进气腔体的进气端面上；在进气腔体中形成有沿水平方向依次排列的多个进气腔，每个进气腔均延伸至进气端面；在进气腔体中还设置有多个进气管路，其出气端一一对应地与多个进气腔连通；多个进气管路的进气端延伸至进气腔体的外部；在匀流板中设置有多组进气孔组，每个进气腔对应一组进气孔组，每组进气孔组包括多个进气孔，进气孔的进气端和进气腔连通，进气孔的出气端与反应腔室相连通。本发明提供的反应腔室的进气机构，其可以提高进入反应腔室的工艺气体的分布均匀性，从而可以提高工艺均匀性。

主权项

1.一种反应腔室的进气机构，其特征在于，包括进气腔体和匀流板，所述进气腔体包括朝向所述反应腔室的进气端面，所述匀流板设置在所述进气腔体的进气端面上；在所述进气腔体中形成有沿水平方向依次排列的多个进气腔，每个进气腔均延伸至所述进气端面；并且，在所述进气腔体中还设置有多个进气管路，所述多个进气管路的出气端一一对应地与所述多个进气腔连通；所述多个进气管路的进气端延伸至所述进气腔体的外部；在所述匀流板中设置有多组进气孔组，每个所述进气腔对应一组所述进气孔组，并且每组所述进气孔组包括多个进气孔，所述进气孔的进气端和所述进气腔连通，所述进气孔的出气端与所述反应腔室相连通。