[发明专利]线材卷绕镀膜机

摘要

本发明涉及线材卷绕镀膜机，包括真空腔室，于所述真空腔室的内部设置带有线材的卷绕系统、用于在线材表面镀膜的镀膜系统、用于冷却的水冷铜板及用于喷涂硅油的喷硅油装置，在所述真空腔室的一侧还设置用于保持真空腔室内高真空环境的抽真空系统；本结构体积小巧简洁，利用本发明可以实现在线材上镀银、金、镍等金属材料或氧化硅等非金属材料，镀膜后的线材可用于医疗行业的可吸收免拆型手术线材等领域。喷硅油装置可以在线材表面喷射保护性材料，大大提高线材的寿命。镀膜室的设计可以使工作时沉积在室壁上的贵重金属材料回收再利用，大大降低镀膜成本。在本发明中将线材进行多倍折返能使沉积时间成倍增加，大大提高了靶的利用率。

主权项

线材卷绕镀膜机，其特征在于：包括真空腔室(1)，于所述真空腔室(1)的内部设置带有线材的卷绕系统、用于在线材表面镀膜的镀膜系统、用于冷却的水冷铜板(23)及用于喷涂硅油的喷硅油装置(18)，在所述真空腔室(1)的一侧还设置用于保持真空腔室(1)内高真空环境的抽真空系统；所述抽真空系统的具体结构如下：包括带有主阀阀门(3)的主阀(2)，所述主阀(2)的入口与真空腔室(1)连通，所述主阀(2)的出口通过第一真空管(4)连接粗抽阀门(5)，所述粗抽阀门(5)通过第二真空管道(6)分别连接精抽阀门(7)及前级泵(8)，所述精抽阀门(7)还与扩散泵(9)连接；所述卷绕系统的具体结构如下：包括放辊(13)及收辊(21)，所述放辊(13)与收辊(21)之间通过需要镀膜的同一组线材顺序连接第一导向辊(14)、第二导向辊(15)、第三导向辊(17)及第四导向辊(19)；所述镀膜系统的具体结构如下：包括设置镀膜室(16)，于所述镀膜室(16)内分别设置上平面靶(22)及下平面靶(25)。