[发明专利]一种易封装易散热倒装高压LED芯片有效
申请号: | 201710197858.5 | 申请日: | 2017-03-29 |
公开(公告)号: | CN106981550B | 公开(公告)日: | 2023-05-16 |
发明(设计)人: | 熊德平;何苗;赵韦人;陈丽;冯祖勇;雷亮 | 申请(专利权)人: | 广东工业大学 |
主分类号: | H01L33/38 | 分类号: | H01L33/38;H01L33/46;H01L33/64;H01L33/00 |
代理公司: | 广东广信君达律师事务所 44329 | 代理人: | 杨晓松 |
地址: | 510062 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提出了一种易封装、易散热的倒装高压LED芯片及其制作方法,包含蓝宝石衬底、外延层、p和n电极、封装基板,对这种结构芯片进行倒装封装时,能够避免芯片电极过小和基板电路焊点过密所造成的对准难问题,使封装更容易实现;此外,各子芯片都做成窄长条形,既有利于电流的均匀分布,又有利于各子芯片的散热,各子芯片的p电极外面有绝缘层包覆,在倒装封装时可使各子芯片与基板紧密接触,避免形成空气间隙,使整个芯片的散热更快。在制作芯片时,对金属薄膜的外绝缘层刻蚀,只需要把第一子芯片的p电极和第N子芯片的n电极部分暴露出即可,这些使得高压芯片制作更简单。 | ||
搜索关键词: | 一种 封装 散热 倒装 高压 led 芯片 | ||
【主权项】:
一种倒装高压LED芯片,其特征在于包括:蓝宝石衬底、外延层、p和n电极、隔离沟槽、内外绝缘薄膜层、金属导电薄膜层、封装基板,所述外延层依次包括n型GaN层、量子阱层和p型GaN层;所述隔离沟槽把倒装高压芯片外延层分隔成两个或两个以上子芯片,每个子芯片有彼此独立的p电极和n电极,所述第一子芯片的n电极和第二子芯片的p电极,到第N‑1子芯片n电极和第N子芯片p电极依次通过金属导电薄膜层连接起来,金属导电薄膜内外均有绝缘层薄膜包覆,在第一子芯片p型GaN和第N子芯片n型GaN的内绝缘层薄膜上,形成倒装高压芯片的p和n电极。
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