[发明专利]一种等离子体气体处理装置在审
| 申请号： | 201710146017.1 | 申请日： | 2017-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN106890552A | 公开（公告）日： | 2017-06-27 |
| 发明（设计）人： | 刘忻;李祥 | 申请（专利权）人： | 苏州盟力环境科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/74 | 分类号： | B01D53/74;B01D53/44 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司44202 | 代理人： | 郝传鑫,贾允 |
| 地址： | 215500 江苏省苏州市常熟高新技*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种等离子体气体处理装置，包括壳体，所述壳体限定出一反应腔；进气口和出气口，分别设置在所述壳体的两端，并与所述反应腔连通；多个呈阵列设置的等离子体发生单元，且相邻阵列的等离子体发生单元交叉设置；和控制单元，所述控制单元与所述等离子体发生单元连接。所述等离子体发生单元包括相对且间隔设置的正电极部和负电极部，正电极部包括位于反应腔内的第一放电体，负电极部包括位于反应腔内的第二放电体，第一放电体和第二放电体交错设置。所述控制单元用于控制第一放电体和第二放电体相对于壳体的旋转。本发明的气体处理装置增强了反应腔内气体的扰动，不仅具有很好的气体处理效果，而且结构简单、制造成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 气体 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种等离子体气体处理装置，其特征在于，包括壳体(1)，所述壳体(1)限定出一反应腔(2)；进气口(11)和出气口(12)，分别设置在所述壳体(1)的两端，并与所述反应腔(2)连通；多个呈阵列设置的等离子体发生单元(3)，相邻阵列的等离子体发生单元(3)交叉设置；和控制单元，所述控制单元与所述等离子体发生单元(3)连接，其中，所述等离子体发生单元(3)包括相对且间隔设置的正电极部(31)和负电极部(32)，所述正电极部(31)包括位于所述反应腔(2)内的第一放电体(312c)，所述负电极部(32)包括位于所述反应腔(2)内的第二放电体(322c)，所述第一放电体(312c)和第二放电体(322c)交错设置，所述控制单元用于控制所述第一放电体(312c)和第二放电体(322c)相对于所述壳体(1)的旋转。
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