[发明专利]用于原子层沉积系统的石英晶体微天平组件

摘要

本发明涉及用于原子层沉积系统的石英晶体微天平组件，其包括原子层沉积系统的反应室的盖体。QCM晶体设置在形成于盖体中的中央腔的底部中。QCM晶体的前表面的中央部裸露于反应室的内部中。固定器设置于中央腔中且位于QCM晶体上方，固定器把QCM晶体压靠于盖体中的台肩上，以在QCM晶体的前表面与台肩之间形成密封，同时也建立与QCM晶体的电接触。法兰紧邻于盖体的顶表面且密封中央腔，同时也通过固定器提供与QCM晶体的电接触。传感器位于反应室外，其通过法兰内的连接器与QCM晶体电接触并驱动QCM晶体。

主权项

一种用于原子层沉积系统的石英晶体微天平QCM组件，原子层沉积系统具有反应室，反应室具有内部，该石英晶体微天平QCM组件包括：反应室的盖体，该盖体具有中央腔；QCM晶体，其具有前表面、背表面与直径DQ并且设置于中央腔的底部中，前表面接触台肩以使前表面的中央部相邻于具有直径DO的QCM开口，且使前表面的中央部通过QCM开口裸露于反应室的内部，其中，(0.25)DQ≤DO≤(0.6)DQ；固定器，具有上表面与向下延伸的多个导电弹性件，固定器设置在中央腔中，导电弹性件与QCM晶体电接触同时把QCM晶体的前表面的外部压靠到台肩上，从而在QCM晶体的前表面与台肩之间形成第一密封；及法兰，具有中央部，中央部紧密地位于中央腔的顶部内且紧邻固定器，法兰具有外部，外部具有下表面，该下表面紧邻盖体的顶表面并与之形成第二密封，该法兰可操作地支撑电接触件，该电接触件与该固定器电接触。