[发明专利]一种用于微振动技术的主动空气隔振单元

摘要

本发明公开了一种用于微振动技术的主动空气隔振单元，其包括设置在地面上的底座，底座上设置有用于放置精密仪器的隔振台，隔振台包括顶板和侧板；顶板和底座之间设置有垂直空气弹簧；侧板和底座之间设置有水平空气弹簧；隔振台和底座形成的空间内部设置有垂直加速度传感器、水平加速度传感器、垂直位移传感器和水平位移传感器。内部加速度传感器及位移传感器测量隔振单元上部精密设备的振动信号，地面加速度传感器测量地面对精密设备的输入信号，外部的控制器根据测量的实时信号，对气阀进行充放气，从而改变垂直空气弹簧及水平空气弹簧内部的压力，产生实时的主动控制力来消除主动空气隔振单元上部精密仪器的振动，能够达到较好的隔振效果。

主权项

一种用于微振动技术的主动空气隔振单元，其特征在于，包括设置在地面上的底座，所述底座上设置有用于放置精密仪器的隔振台，所述隔振台包括顶板和侧板；所述顶板和所述底座之间设置有垂直空气弹簧；所述侧板和所述底座之间设置有水平空气弹簧；所述垂直空气弹簧和所述水平空气弹簧均连接气源；所述隔振台和所述底座形成的空间内部设置有垂直加速度传感器、水平加速度传感器、垂直位移传感器和水平位移传感器；主动空气隔振单元所在的地面上设置有地面垂直加速度传感器以及地面水平加速度传感器。