[发明专利]处理基板的方法和基板载体系统在审
| 申请号： | 201680086200.0 | 申请日： | 2016-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN109196422A | 公开（公告）日： | 2019-01-11 |
| 发明（设计）人： | 托马斯·沃纳·兹巴于尔;哈拉尔·克劳丝 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01F7/02;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本文所述的实施方式有关于一种处理基板的方法。这种方法包括：利用静电或磁性的夹持组件的多个分隔的夹持区域将基板夹持至支撑表面，其中这些夹持区域的至少一个冗余夹持区域(31)提供冗余夹持力，使得在所述至少一个冗余夹持区域失效或短路的情况中，基板通过这些夹持区域的多个剩余夹持区域(33)固持于支撑表面。根据其他方面，提供一种用以执行本文所述的方法的基板载体系统(20)。 | ||
| 搜索关键词： | 夹持区域 冗余 处理基板 基板载体 支撑表面 基板夹持 夹持组件 短路 静电 夹持力 固持 基板 分隔 | ||
【主权项】：
1.一种处理基板(10)的方法，包括：利用静电或磁性的夹持组件(30)的多个分隔的夹持区域(32)将所述基板和掩模的至少一者夹持至支撑表面(22)；其中所述多个夹持区域的至少一个冗余夹持区域(31)提供冗余夹持力，使得在所述至少一个冗余夹持区域失效或短路的情况中，所述基板和所述掩模的至少一者通过所述多个夹持区域(32)的剩余夹持区域(33)固持于所述支撑表面(22)。
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