[发明专利]处理基板的方法和基板载体系统在审

申请号：	201680086200.0	申请日：	2016-06-09
公开（公告）号：	CN109196422A	公开（公告）日：	2019-01-11
发明（设计）人：	托马斯·沃纳·兹巴于尔;哈拉尔·克劳丝	申请（专利权）人：	应用材料公司
主分类号：	G03F7/20	分类号：	G03F7/20;H01F7/02;H01L21/683
代理公司：	北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006	代理人：	徐金国;赵静
地址：	美国加利***	国省代码：	美国;US
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摘要：
搜索关键词：	夹持区域冗余处理基板基板载体支撑表面基板夹持夹持组件短路静电夹持力固持基板分隔
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【权利要求书】：

1.一种处理基板(10)的方法，包括：

利用静电或磁性的夹持组件(30)的多个分隔的夹持区域(32)将所述基板和掩模的至少一者夹持至支撑表面(22)；

其中所述多个夹持区域的至少一个冗余夹持区域(31)提供冗余夹持力，使得在所述至少一个冗余夹持区域失效或短路的情况中，所述基板和所述掩模的至少一者通过所述多个夹持区域(32)的剩余夹持区域(33)固持于所述支撑表面(22)。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述多个夹持区域(32)的每一个夹持区域被构造为冗余夹持区域，使得在所述多个夹持区域(32)的任一个夹持区域失效或短路的情况中，所述基板和所述掩模的至少一者通过所述多个夹持区域(32)的剩余夹持区域固持于所述支撑表面(22)。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中包括所述多个夹持区域(32)的5％或更多和50％或更少的子集提供冗余夹持力，使得在所述子集失效或短路的情况中，所述基板和所述掩模的至少一者通过所述多个夹持区域(32)的剩余夹持区域固持于所述支撑表面(22)。

4.根据权利要求1至3任一项所述的方法，包括：

利用个别的电力组件(51)给所述至少一个冗余夹持区域(31)供电，特别是利用个别的电力组件给所述多个夹持区域(32)的每一个夹持区域供电，其中所述个别的电力组件由控制器(55)控制。

5.根据权利要求1至3任一项所述的方法，包括：

依次给所述多个夹持区域(32)供电，特别是通过依次将所述多个夹持区域(32)连接至电力组件(50)的至少一个电压端来依次给所述多个夹持区域(32)供电，特别是，其中一次只有所述多个夹持区域(32)的一个夹持区域被供电。

6.根据权利要求1至5任一项项所述的方法，其中所述多个夹持区域(32)的每一个夹持区域包括第一电极(45)和第二电极(46)，所述第二电极(46)与所述第一电极(45)交错，其中所述第一电极依次连接于电力组件(50)的第一电压端(52)，并且所述第二电极依次连接于所述电力组件(50)的第二电压端(53)，所述第一电压端(52)提供第一电压，所述第二电压端(53)提供第二电压，所述第二电压不同于所述第一电压。

7.根据权利要求1至6任一项所述的方法，更包括：

传送已夹持的所述基板至处理腔室中；

于所述处理腔室中涂布已夹持的所述基板；

传送已夹持的所述基板离开所述处理腔室；和

从所述支撑表面对所述基板进行去夹持。

8.根据权利要求1至7任一项所述的方法，其中所述基板在第一背景压力，特别是在大气压力下，被夹持至所述支撑表面，所述方法更包括：

将包含已夹持的所述基板的真空腔室排气至第二背景压力，所述第二背景压力低于所述第一背景压力。

9.一种处理基板的方法，包括：

利用静电或磁性的夹持组件(30)的多个分隔的夹持区域(32)将所述基板夹持至支撑表面(22)；

其中所述多个夹持区域(32)的至少一个冗余夹持区域(31)提供冗余夹持力，使得在所述至少一个冗余夹持区域失效或短路的情况中，所述基板通过所述多个夹持区域的剩余夹持区域固持于所述支撑表面(22)；

解除所述至少一个冗余夹持区域(31)的所述冗余夹持力，以允许所述基板的一部分和所述夹持组件之间的平衡运动；和

恢复所述至少一个冗余夹持区域(31)的所述冗余夹持力。