[实用新型]微纳加工设备及其加工操作器有效
申请号: | 201620933941.5 | 申请日: | 2016-08-24 |
公开(公告)号: | CN206288960U | 公开(公告)日: | 2017-06-30 |
发明(设计)人: | 汤晖;邱迁;曾昭和;李宏城;张揽宇;高健;陈新;贺云波;杨志军;陈云;王晗;王素娟 | 申请(专利权)人: | 广东工业大学 |
主分类号: | B81C1/00 | 分类号: | B81C1/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人: | 罗满 |
地址: | 510062 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种微纳加工设备的加工操作器,包括基座台、刀具和安装于所述基座台并用于驱动所述刀具移动的驱动装置,包括三个所述驱动装置,且三个所述驱动装置驱动所述刀具移动的方向为两两相互垂直。既能满足实际试验中多自由度及大行程的要求,又能在加工精度方面有明显提高,可以实现微小型复杂结构的微纳加工。具有多自由度、大行程和高加工精度。本实用新型还公开了一种包括上述加工操作器的微纳加工设备。 | ||
搜索关键词: | 加工 设备 及其 操作 | ||
【主权项】:
一种微纳加工设备的加工操作器,包括基座台(1)、刀具(3)和安装于所述基座台(1)并用于驱动所述刀具(3)移动的驱动装置,其特征在于,包括三个所述驱动装置,且三个所述驱动装置驱动所述刀具(3)移动的方向为两两相互垂直。
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