[实用新型]一种多功能单双面连续式卷绕磁控溅射镀膜设备

摘要

本实用新型公开了一种多功能单双面连续式卷绕磁控溅射镀膜设备，包括电控装置、真空腔、抽真空装置、磁控溅射镀膜装置和卷绕机构，卷绕机构主要由放卷机构、收卷机构和输送机构组成，输送机构包括镀膜支承辊，镀膜支承辊和磁控溅射镀膜装置分别为一对，镀膜支承辊为半环形，放卷机构位于其中一个镀膜支承辊围括的区域内，收卷机构位于另一个镀膜支承辊围括的区域内，每个镀膜支承辊的辊面分别与一个磁控溅射镀膜装置相对应，经过两个镀膜支承辊的柔性衬底的外表面分别是该柔性衬底的两个面。本实用新型可实现一次性同时双面镀膜，提高了生产效率，也可根据工艺需求选择单面镀膜以及单面镀双层复合膜，且节约了腔体内部空间，减小了腔体体积。

主权项

一种多功能单双面连续式卷绕磁控溅射镀膜设备，它包括电控装置、真空腔、与真空腔相连的抽真空装置、设于真空腔中的磁控溅射镀膜装置和卷绕机构，所述抽真空装置、磁控溅射镀膜装置和卷绕机构分别与电控装置连接，所述卷绕机构主要由放卷机构、收卷机构、设于放卷机构和收卷机构之间的输送机构组成，所述输送机构包括镀膜支承辊，所述磁控溅射镀膜装置的溅射部分与镀膜支承辊的辊面相对，其特征在于：所述镀膜支承辊和磁控溅射镀膜装置分别为一对，所述镀膜支承辊为半环形，所述放卷机构位于其中一个镀膜支承辊围括的区域内，该镀膜支承辊称为放卷镀膜支承辊，所述收卷机构位于另一个镀膜支承辊围括的区域内，该镀膜支承辊称为收卷镀膜支承辊，每个镀膜支承辊的辊面分别与一个磁控溅射镀膜装置相对应，经过两个镀膜支承辊的柔性衬底的外表面分别是该柔性衬底的两个面。