[实用新型]用于外延沉积的具有液体分配器的反应室和反应器有效
| 申请号： | 201620768775.8 | 申请日： | 2016-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN206157270U | 公开（公告）日： | 2017-05-10 |
| 发明（设计）人： | 弗朗西斯科·科里亚;温琴佐·奥格里亚里 | 申请（专利权）人： | LPE公司 |
| 主分类号： | C30B25/08 | 分类号： | C30B25/08;C30B19/06 |
| 代理公司： | 北京酷爱智慧知识产权代理有限公司11514 | 代理人： | 刘谦 |
| 地址： | 意大利米*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于外延沉积的具有液体分配器的反应室和反应器，其中，用于外延沉积反应器的反应室(1)，包括外表面(2)，外表面2包括至少一个可被液体冷却的第一区域(Z1)和至少一个可被气体冷却的第二区域(Z2)，所述第一区域(Z1)和所述第二区域(Z2)被至少一个从所述外表面(2)向外突出的第一屏障(3)分开；所述反应室(1)包括一个上部分配系统(100)，所述上部分配系统(100)包括一个冷却剂分配管(110)，所述分配管上有孔(120)，所述孔(120)的形状至少和第一屏障(3)的形状部分相似，且位于所述第一屏障(3)和所述外表面(2)的第一区域(Z1)的附近。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 外延 沉积 具有 液体 分配器 反应 反应器 | ||
【主权项】：
用于外延沉积反应器的反应室(1)，包括：外表面(2)，外表面2包括至少一个可被液体冷却的第一区域(Z1)和至少一个可被气体冷却的第二区域(Z2)，所述第一区域(Z1)和所述第二区域(Z2)被至少一个从所述外表面(2)向外突出的第一屏障(3)分开，其特征在于：包括一个上部分配系统(100)，所述上部分配系统(100)包括一个冷却剂分配管(110)，所述冷却剂分配管上有孔(120)，所述孔(120)的形状至少和第一屏障(3)的形状部分相似，且位于所述第一屏障(3)和所述外表面(2)的第一区域(Z1)的附近；上部分配系统(100)设置成可以制造均匀分布在所述第一区域(Z1)的冷却流体的湍流。
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