[实用新型]温湿度控制宽体晶圆装载腔

摘要

本实用新型提供了一种温湿度控制宽体晶圆装载腔,包括2个装载腔室，所述装载腔室设置污染物控制系统，所述污染物控制系统由供气系统、排气系统、加热系统组成；本实用新型提供的温湿度控制宽体晶圆装载腔,利用加热系统给晶圆装载腔室外表面加热从而抑制污染物在装载腔室的形成，装载腔室里的污染物蒸发并且由腔室的排气系统抽走，同时可以给装载腔室提供干净的氮气去吹扫腔室加热后释放出来的污染物。

主权项

一种温湿度控制宽体晶圆装载腔,包括2个装载腔室（122），其特征在于：所述装载腔室（122）设置污染物控制系统（104），所述污染物控制系统（104）由供气系统（160）、排气系统（162）、加热系统（164）组成；所述供气系统（160）包括气体源（140），所述气体源（140）连接气动阀（136），所述气动阀（136）分两个支路分别连接2个装载腔室（122），所述气动阀（136）与一个装载腔室（122）之间设置气动阀（136）和针阀（138），所述气动阀（136）与另一个装载腔室（122）之间设置气动阀（136）和针阀（138）；所述排气系统（162）包括两个气动阀（136），所述气动阀（136）分别连接装载腔室（122），所述气动阀（136）的另一端连接真空泵浦（144）；所述加热系统（164）包括热电偶（130）以及贴在装载腔室（122）侧面的加热元器件（132），所述热电偶（130）、加热元器件（132）通过加热控制器（146）控制，所述热电偶（130）、加热元器件（132）与加热控制器（146）线连接。