[实用新型]一种液相法生长碳化硅晶体用的籽晶轴有效
| 申请号： | 201620642545.7 | 申请日： | 2016-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN205907396U | 公开（公告）日： | 2017-01-25 |
| 发明（设计）人： | 朱灿;高超;窦文涛 | 申请（专利权）人： | 山东天岳先进材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B15/32 |
| 代理公司： | 济南舜源专利事务所有限公司37205 | 代理人： | 苗峻,孙亚琳 |
| 地址： | 250101 山东省济南市高新区新*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种液相法生长碳化硅晶体用的籽晶轴，属于碳化硅生产设备技术领域。其包括头部贴有籽晶的石墨轴，其特征在于在籽晶上部的石墨轴上同轴设置有一石墨遮罩，所述石墨遮罩为圆形平板或为开口向下的伞形结构或为一端封闭另一端敞口向下的筒形结构，所述石墨遮罩将贴有籽晶的一端的石墨轴罩设在其下部。本实用新型结构简单，可以在碳化硅生长过程中有效阻挡大部分的硅蒸汽溢出坩埚，能有效防止挥发的硅蒸汽给坩埚保温材料带来负面影响及有效防止挥发的硅蒸汽遇冷后生成的碳化硅掉入坩埚内的溶液中形成杂晶，影响碳化硅单晶的质量，同时石墨遮罩的设置可以反射热量到籽晶部位，保证晶体生长环境的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 液相法 生长 碳化硅 晶体 籽晶 | ||
【主权项】：
一种液相法生长碳化硅晶体用的籽晶轴，包括头部贴有籽晶的石墨轴(1)，其特征在于：在籽晶上部的石墨轴(1)上同轴设置有一石墨遮罩(2)，所述石墨遮罩(2)为圆形平板或为开口向下的伞形结构或为一端封闭另一端敞口向下的筒形结构，所述石墨遮罩(2)将贴有籽晶的一端的石墨轴罩设在其下部。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山东天岳先进材料科技有限公司，未经山东天岳先进材料科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201620642545.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
