[实用新型]一种蒸发镀膜仪有效
| 申请号： | 201620521609.8 | 申请日： | 2016-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN205821439U | 公开（公告）日： | 2016-12-21 |
| 发明（设计）人： | 邾根祥;方辉;江晓平;朱沫浥;王卫 | 申请（专利权）人： | 合肥科晶材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 合肥市科融知识产权代理事务所(普通合伙)34126 | 代理人： | 宣圣义 |
| 地址： | 230031 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种蒸发镀膜仪，包括机架，所述机架上固定有真空室，所述真空室内顶部设置有基片台、内底部对应于基片台的下方位置设置有蒸发源，所述真空室外顶部设置有连接于基片台并用于驱动基片台匀速旋转的旋转电机。本实用新型提供的蒸发镀膜仪，将待镀工件安装在基片台，将待蒸发镀膜的材料放在蒸发坩埚里，启动旋转电机工作，基片台能够匀速转动，保证蒸发材料均布在基片表面，镀膜均匀，镀膜品质高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 镀膜 | ||
【主权项】：
一种蒸发镀膜仪，包括机架，其特征在于：所述机架上固定有真空室，所述真空室内顶部设置有基片台、内底部对应于基片台的下方位置设置有蒸发源，所述真空室外顶部设置有连接于基片台并用于驱动基片台匀速旋转的旋转电机。
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