[实用新型]一种三轴机械手

摘要

本实用新型涉及机械手臂，具体来说是涉及一种三轴机械手。上述机械手的Z轴轨道由固定座、步进丝杆组件和Z轴滑台组成，Z轴滑台上固连有连接座，连接座上安装有四组并排排列的吸嘴组件；吸嘴组件由吸嘴、真空单元、电磁阀、气动滑台和伺服电机组成，真空单元中具有抽真空气路和压缩气体气路，真空单元与吸嘴气连接，气动滑台垂直固设在连接座上，吸嘴固定在气动滑台上。当需要将IC放下时，抽真空气路停止工作，压缩气体气路开始向吸嘴中填充压缩气体，去破坏吸嘴中的真空环境，使得吸嘴中的负压立即消失，IC从吸嘴上立即脱离，运行速度快。

主权项

一种三轴机械手，其特征在于，主要由支撑架、X轴轨道、Y轴轨道和Z轴轨道组成，所述X轴轨道固定在所述支撑架上，所述Y轴轨道固定在所述X轴轨道的滑台上，所述Z轴轨道固定在所述Y轴轨道的滑台上；所述Z轴轨道由固定座、步进丝杆组件和Z轴滑台组成，所述固定座固定在所述Y轴轨道的滑台上，所述步进丝杆组件固定在所述固定座上，所述Z轴滑台固定在所述步进丝杆组件上，所述Z轴滑台上固连有连接座，所述连接座上安装有四组并排排列的吸嘴组件；所述吸嘴组件由吸嘴、真空单元、电磁阀、气动滑台和伺服电机组成，所述真空单元中具有抽真空气路和压缩气体气路，所述真空单元与所述吸嘴气连接，所述气动滑台垂直固设在所述连接座上，所述吸嘴固定在所述气动滑台上，所述伺服电机与所述吸嘴连接，驱动所述吸嘴绕其中心轴旋转。