[实用新型]一种线性蒸发源、蒸发源系统及蒸镀装置有效
| 申请号： | 201620286974.5 | 申请日： | 2016-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN205443432U | 公开（公告）日： | 2016-08-10 |
| 发明（设计）人： | 张金中 | 申请（专利权）人： | 鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 017000 内蒙古*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种线性蒸发源、蒸发源系统及蒸镀装置，涉及显示技术领域，以在采用线性蒸发源蒸镀工艺制作有机电致发光显示器的发光层时，提高其在线源方向上的膜厚均一性。该线性蒸发源包括用于蒸发蒸镀材料的加热装置，加热装置的喷嘴安装面上设有线性喷嘴组，线性喷嘴组包括沿线源方向设在喷嘴安装面的多个喷嘴；加热装置中设有能够使加热装置的加热温度均一的温度补偿板。而蒸发源系统包括上述提到的线性蒸发源。本实用新型提供的线性蒸发源用于蒸镀装置中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 线性 蒸发 系统 装置 | ||
【主权项】：
一种线性蒸发源，其特征在于，包括用于蒸发蒸镀材料的加热装置，所述加热装置的喷嘴安装面上设有线性喷嘴组，所述线性喷嘴组包括沿线源方向设在喷嘴安装面的多个喷嘴；所述加热装置中设有能够使所述加热装置的加热温度均一的温度补偿板。
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