[实用新型]一种多功能纳米材料磁控溅射镀膜生产线

摘要

本实用新型公开了一种多功能纳米材料磁控溅射镀膜生产线，包括真空系统、布气系统、阴极溅射系统和控制系统；真空系统包括16个立式真空室，8个真空隔离锁门，前后精抽真空室和工艺真空室设计4组精抽前级泵组和28台精抽复合分子泵；布气系统包括组合互换气站，气体单控混合输入装置和迷宫式气体扩散装置；阴极溅射系统包括中频孪生旋转阴极靶位16个，直流平面阴极靶位4个；控制系统包括：连续全自动智能化控制软件，AR与ITO生产模式转换系统，双面不对称阴极溅射靶位设计，以及多功能移动基片架。本实用新型有效提高了本生产线的产能、品质和品种的多样化，使产品的产能最高化，成本最低化，产品多样化，充分体现生产线的多功能化。

主权项

一种多功能纳米材料磁控溅射镀膜生产线，其特征在于：包括真空系统、布气系统、阴极溅射系统和控制系统；所述真空系统包括：16个立式真空室，8个真空隔离锁门，前后精抽真空室和工艺真空室设计4组精抽前级泵组和28台精抽复合分子泵；所述布气系统包括：组合互换气站，气体单控混合输入装置和迷宫式气体扩散装置；所述阴极溅射系统包括：中频孪生旋转阴极靶位16个，直流平面阴极靶位4个，磁控溅射等离子体物理面在线真空状态下工艺微调装置和磁流体动态密封自动温控旋转阴极端头；所述控制系统包括：连续全自动智能化控制软件，AR与ITO生产模式转换系统，双面不对称阴极溅射靶位设计，以及多功能移动基片架。