[实用新型]生产氮化硼制品的气相沉积炉

摘要

本实用新型公开了一种生产氮化硼产品的气相沉积炉，包括沉积炉的圆柱体形炉体，炉体顶壁上设有排气口，炉体的底板上设有进气口，还包括顶壁下方的转动体，顶壁中央设有竖向的芯轴，芯轴圆周外侧套接有套轴，套轴下端的圆周外侧与转动体的上端固定连接；芯轴下端的圆周外侧通过轴承和固定套与转动体下侧中央转动配合；芯轴圆周外侧的转动体上设有若干个竖向呈环形并列设置的一级转轴、二级转轴和三级转轴，转轴上设有用于挂载模具的挂架。本实用新型能够实现模具的自转和公转同时旋转，能够使氮化硼制品的气相沉积作业更加高效和均匀，提高生产效率，确保产品质量。

主权项

生产氮化硼产品的气相沉积炉，包括沉积炉的圆柱体形炉体，炉体顶壁上设有排气口，炉体的底板上设有进气口，其特征在于，还包括顶壁下方的转动体，顶壁中央设有竖向的芯轴，芯轴圆周外侧套接有套轴，套轴下端的圆周外侧与转动体的上端固定连接；芯轴下端的圆周外侧通过轴承和固定套与转动体下侧中央转动配合；芯轴圆周外侧的转动体上设有若干个竖向呈环形并列设置的一级转轴，一级转轴外侧的转动体上设有若干个竖向呈环形并列设置的二级转轴，二级转轴外侧的转动体上设有若干个竖向呈环形并列设置的三级转轴；所有一级转轴排列呈现的环形、所有二级转轴排列呈现的环形、所有三级转轴排列呈现的环形的轴线与芯轴轴线重合；所述一级转轴、二级转轴、三级转轴的上部均通过轴承与转动体转动连接；芯轴通过传动结构驱动所有的一级转轴、二级转轴、三级转轴转动；传动结构包括设置在芯轴上的驱动齿轮，一级转轴的上端设有与驱动齿轮配合的一级从动齿轮；一级从动齿轮的下方的一级转轴上设有一级传动齿轮，一级转轴的径向外侧的二级转轴的上端设有与该一级转轴上的一级传动齿轮配合的二级从动齿轮；二级从动齿轮下方的二级转轴上设有二级传动齿轮，二级转轴的径向外侧的三级转轴的上端设有与该二级转轴上的二级传动齿轮配合的三级从动齿轮；芯轴转动驱动所有的一级转轴、二级转轴和三级转轴转动。