[发明专利]一种用于抛光等离子硅聚焦环台阶的装置及方法在审
| 申请号： | 201611216510.8 | 申请日： | 2016-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN108237469A | 公开（公告）日： | 2018-07-03 |
| 发明（设计）人： | 夏青;库黎明;朱秦发;高立飞;田强;王思元;张雷;杨卫国;闫志瑞;李磊 | 申请（专利权）人： | 有研半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B39/06 | 分类号： | B24B39/06;B24B1/00;B24B55/00;B24B47/12;B24B57/00 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 刘秀青;熊国裕 |
| 地址： | 101300 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于抛光等离子硅聚焦环台阶的装置及方法。该装置包括主体槽、转动装置、紧固装置、送液装置、悬臂和抛光布，其中，紧固装置包括一卡盘，该卡盘上设有螺纹孔，通过螺栓固定待抛光的硅聚焦环；所述紧固装置安装在转动装置上，送液装置用于向待抛光的硅聚焦环上喷淋抛光液；抛光布贴在悬臂的下端，悬臂套在悬臂杆上通过绳子与重锤相连，悬臂可在悬臂杆上沿卡盘径向移动，悬臂杆套在悬臂架上，悬臂杆可在悬臂架上上、下移动。采用该装置抛光等离子硅聚焦环台阶，通过调整卡盘的转速和抛光时间，来达到所需硅环台阶粗糙度。采用本发明可以获得硅环台阶表面粗糙度极低的硅聚焦环，简单易行，效率较高。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 聚焦环 悬臂杆 紧固装置 等离子 卡盘 悬臂 送液装置 转动装置 粗糙度 悬臂架 硅环 调整卡盘 径向移动 螺栓固定 台阶表面 螺纹孔 抛光布 抛光液 悬臂套 主体槽 布贴 上喷 套在 下端 重锤 绳子 移动 | ||
【主权项】：
1.一种用于抛光等离子硅聚焦环台阶的装置，其特征在于，该装置包括主体槽、转动装置、紧固装置、送液装置、悬臂和抛光布，其中，紧固装置包括一卡盘，该卡盘上设有螺纹孔，通过螺栓固定待抛光的硅聚焦环；所述紧固装置安装在转动装置上，送液装置用于向待抛光的硅聚焦环上喷淋抛光液；抛光布贴在悬臂的下端，悬臂套在悬臂杆上通过绳子与重锤相连，悬臂可在悬臂杆上沿卡盘径向移动，悬臂杆套在悬臂架上，悬臂杆可在悬臂架上上、下移动。
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- 王文广;李贵文;李济安;宋志刚;杨彦秀;祝军山 - 白银有色集团股份有限公司
- 2013-05-21 - 2013-08-28 - B24B39/06
- 本发明公开了一种小型铝板双面抛光机，包括机架、抛光辊、主电机和进给电机，在所述机架上依次设有托辊、送料辊、抛光辊和接料辊，所述主电机和进给电机分别固定连接在所述机架的下部，所述主电机给所述抛光辊提供动力，所述进给电机给所述送料辊和接料辊提供动力。该小型铝板双面抛光机，由原有单个抛光辊变为工件上下表面各一个抛光辊，将送料平台改为一对夹紧力较大的送料辊和一对接料辊，实现中小面积铝板的双面抛光。为了在抛光辊、送料辊和接料辊之间对被加工板件提供必要的支撑，方便上料和下料，在机架上设置四组托辊。该小型铝板双面抛光机结构简单，操作方便，还可以对中小面积铜板、镁板等软件材料板材在一同行程中实现双面抛光。
- 双驱动单面抛光机-201220648239.6
- 张正钦;资朝红;李国斌;李云江;黄震 - 长沙永凯科技设备有限公司;湖南电子信息产业集团有限公司
- 2012-11-30 - 2013-06-19 - B24B39/06
- 双驱动单面抛光机，包括机架、抛光机构和PLC控制器，所述PLC控制器通过导线管固定在所述机架侧面，所述抛光机构包括抛光盘和抛光液桶，所述抛光盘包括上定盘和下定盘，所述抛光液桶通过导管连接至所述下定盘的两侧，所述上定盘安装在导轨上，所述导轨上设置有限位件；所述机架的上端设有把柄，所述把柄的后端连接有硬质弹簧，该硬质弹簧的另一端与设在所述机架后端的连接杆固定连接，所述下定盘的主轴与一减速电机相连。本实用新型结构简单，维修便捷，操作方便，能够在对液晶盒的玻璃基板进行减薄的同时完成抛光工序，降低了成本，提高了减薄抛光效率。
- 一种抛光基材的方法-201210418371.2
- 郭毅;K-A·K·雷迪 - 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司
- 2012-10-26 - 2013-05-08 - B24B39/06
- 本发明提供了一种使用化学机械抛光组合物浓缩物的多种稀释液以抛光基材，对包含过载地沉积在二氧化硅上的多晶硅的基材进行化学机械抛光的方法，其中，用于抛光基材的所述浓缩物的第一稀释液被调节得具有第一多晶硅去除速率和第一多晶硅对二氧化硅的去除速率选择性；以及，用于抛光基材的所述浓缩物的第二稀释液被调节得具有第二多晶硅去除速率和第二多晶硅对二氧化硅的去除速率选择性。
- 一种大口径超薄石英玻璃加工的保护方法-201110301107.6
- 姚建明 - 上海双明光学科技有限公司
- 2011-09-28 - 2013-04-03 - B24B39/06
- 本发明涉及一种大口径超薄石英玻璃加工的保护方法，该方法包括以下步骤：将待加工玻璃工件放置在工装游轮上，并在待加工玻璃工件周边设置三块保护片，保护片的厚度比待加工玻璃工件的厚度大0.2mm；上定盘按照0.01mm的进刀量下降，进行超薄石英玻璃的加工。与现有技术相比，本发明具有简单易行、实用有效、可增大超薄石英玻璃受力面积、降低生产报废率等优点。
- 干式抛光机-201220407134.1
- 张志贵 - 咸阳大田机械有限责任公司
- 2012-08-16 - 2013-03-27 - B24B39/06
- 本实用新型公开了一种干式抛光机，在机架上按照走料方向依次设置有托料台座、进料辊支架、刷辊支架、出料辊支架以及两个电机；进料辊支架中安装有从动进料辊、主动进料辊，从动进料辊同时与调节气缸及调节手轮连接；刷辊支架中安装有主动刷辊和从动刷辊，主动刷辊同时与调节气缸B及调节手轮B连接；出料辊支架中安装有主动出料辊和从动出料辊，主动出料辊一端与调节气缸C连接；电机通过减速器与主动进料辊传动连接，电机B直接与主动刷辊传动连接。本实用新型的装置，解决了刷辊表面烧焦、板面发糊以及除屑难的问题，用于各类金属表面打磨抛光处理及辊类、辊刷制造。
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