[发明专利]频率可重构偶极子天线的SPIN二极管器件的制造工艺在审
| 申请号： | 201611184778.8 | 申请日： | 2016-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN106816685A | 公开（公告）日： | 2017-06-09 |
| 发明（设计）人： | 尹晓雪;张亮 | 申请（专利权）人： | 西安科锐盛创新科技有限公司 |
| 主分类号： | H01Q1/22 | 分类号： | H01Q1/22;H01Q1/36;H01L21/329;H01L29/868 |
| 代理公司： | 西安智萃知识产权代理有限公司61221 | 代理人： | 刘长春 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市高新区高新路86号*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供一种频率可重构偶极子天线的SPIN二极管器件的制造工艺，该SPIN二极管器件主要用于制造频率可重构偶极子天线，该SPIN二极管的制造方法包括如下步骤选择SOI衬底(101)；刻蚀SOI衬底(101)形成隔离槽，填充隔离槽形成隔离区(301)，刻蚀SOI衬底(101)形成P区深槽(501)和N区深槽(502)；在P区深槽(501)及N区深槽(502)内采用离子注入的方式形成P+有源区(601)和N+有源区(602)；在SOI衬底(101)上生成引线。本发明提供的天线具有易集成、可隐身、结构简单、频率可快速跳变的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 频率 可重构 偶极子 天线 spin 二极管 器件 制造 工艺 | ||
【主权项】：
一种频率可重构偶极子天线的SPIN二极管器件的制造工艺，其特征在于，所述SPIN二极管器件用于制造所述频率可重构偶极子天线，所述频率可重构偶极子天线包括：Si基SOI半导体基片(1)；固定在Si基SOI半导体基片(1)上的第一天线臂(2)、第二天线臂(3)和同轴馈线(4)；所述第一天线臂(2)和所述第二天线臂(3)分别设置于所述同轴馈线(4)的两侧且包括多个SPIN二极管串，在天线处于工作状态时，所述第一天线臂(2)和所述第二天线臂(3)根据多个SPIN二极管串的导通与关断实现天线臂长度的调节；其中，所述SPIN二极管的制造方法包括如下步骤：选择SOI衬底(101)；刻蚀所述SOI衬底(101)形成隔离槽，填充所述隔离槽形成隔离区(301)；刻蚀所述SOI衬底(101)形成P区深槽(501)和N区深槽(502)；在所述P区深槽(501)及所述N区深槽(502)内采用离子注入的方式形成P+有源区(601)和N+有源区(602)；在所述SOI衬底(101)上生成引线。
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