[发明专利]一种超高真空催化装置以及团簇沉积设备有效
| 申请号： | 201611155536.6 | 申请日： | 2016-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN106435509B | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 张勤芳;王保林;樊乐乐;朱雷;王珏;孟强强;侯贵华;罗改霞 | 申请（专利权）人： | 盐城工学院 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C16/52 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 李佳 |
| 地址： | 224000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及材料制备设备领域，具体而言，涉及一种超高真空催化装置以及团簇沉积设备。一种超高真空催化装置包括用于传递团簇的超高真空传样装置、用于气相催化的催化装置以及用于检测催化产物的四极质谱仪。超高真空传样装置的出口端与催化装置的进口端连通，催化装置的出口端与四极质谱仪进口端连通。该装置能够在真空环境下对团簇的气相催化性能进行实时检测，能够获得洁净团簇粒子的真实催化性能并对其催化机理进行研究。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超高 真空 催化 装置 以及 沉积 设备 | ||
【主权项】：
1.一种超高真空催化装置，其特征在于，包括用于传递团簇的超高真空传样装置、用于气相催化的催化装置、以及用于检测催化产物的四极质谱仪；超高真空传样装置的出口端与催化装置的进口端连通，催化装置的出口端与四极质谱仪进口端连通；所述催化装置包括催化装置本体、加热装置、样品底座以及外部加热电源，所述外部电源位于所述催化装置本体外部，所述样品底座设于所述催化装置本体内，所述加热装置的一端与所述样品底座连接，所述加热装置的另一端与所述外部加热电源连接；所述催化装置还包括外部电源仪表以及用于测量团簇电学特性的电输运测量装置，所述外部电源仪表设于所述催化装置本体外部，所述电输运测量装置的一端与所述样品底座连接，所述电输运测量装置的另一端与所述外部电源仪表连接。
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