[发明专利]一种超高纯Cu或超高纯Cu合金靶材的电解抛光工艺有效
| 申请号： | 202010688599.8 | 申请日： | 2020-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN111826706B | 公开（公告）日： | 2023-01-17 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;王少平 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C25F3/22 | 分类号： | C25F3/22;G01N1/32;G01N23/2005;G01N23/20058;G01N23/203;G01N23/2055 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超高纯Cu或超高纯Cu合金靶材的电解抛光工艺。本发明的超高纯Cu或超高纯Cu合金靶材的电解抛光工艺，包括如下步骤：1)对超高纯Cu或超高纯Cu合金靶材待分析面进行研磨；2)对经步骤1)研磨后的待分析面采用电解抛光液进行电解抛光。本发明的超高纯Cu或超高纯Cu合金靶材的电解抛光工艺，适用于芯片用超高纯Cu及Cu合金靶材的晶粒尺寸、晶向、织构等晶体学分析，特别适用于细晶、超细晶超高纯Cu或超高纯Cu合金靶材，用于指导超高纯Cu或超高纯Cu合金靶材的工艺开发。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 cu 合金 电解 抛光 工艺 | ||
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- 本发明公开了一种降低铜箔粗糙度方法及其铜箔制品，本发明方法包括以下步骤：1)配制抛光液；2)待抛光铜箔处理；3)电化学抛光；4)清洗：将完成电化学抛光的大晶粒尺寸铜箔进行清洗，然后进行干燥处理，获得降低粗糙度的铜箔制品；本发明提供的降低铜箔粗糙度方法工艺简单，操作简单、有效，通过电化学抛光技术，将多晶铜箔退火而成的大晶粒尺寸铜箔作抛光处理，而且抛光液由浓磷酸和乙二醇混合而成，不仅所用原材料种类少，成本低，环境污染小，而且抛光效果好。采用本发明降低铜箔粗糙度方法抛光获得的铜箔制品，其的表面粗糙度可达1～2nm，相比处理前降低了10倍以上，光洁度高，具有较好的镜面效果，满足超光滑铜箔市场的应用。
- 一种可实现单相固溶体高熵合金的电化学抛光方法-202111313402.3
- 董多;李旭敏;王晓红;朱冬冬;马腾飞;张元祥;周兆忠 - 衢州学院
- 2021-11-08 - 2022-01-04 - C25F3/22
- 本发明公开了一种可实现单相固溶体高熵合金的电化学抛光方法，具体是将耐蚀元素(Mo元素)的高熵合金在常温下进行电化学抛光，以FeCoCrNiMo合金为研究对象，在常压下Mo的不同含量和相同含量下的4GPa和7GPa的合金材料，与常温下电化学抛光后的合金材料进行扫描电镜(SEM)下的微观组织和元素分布图进行比对，研究单相固溶体高熵合金电化学抛光的结果。本发明在常温条件下研究单相固溶体高熵合金的电化学抛光方法，对于探索并建立单相固溶体的电化学抛光过程中一些基本理论，扩展单相固溶体电化学抛光耐腐蚀新材料的可能性具有极大的意义。
- 用于γ-γ”镍基超级合金的电化学加工的电解质-201980083291.6
- M·姆萨克尼马楼彻;J·勒康特;M·兰契奇;N·斯坦;C·鲍朗格 - 赛峰飞机发动机公司;洛林大学;国家科学研究中心
- 2019-12-17 - 2021-10-29 - C25F3/22
- 本发明涉及用于γ‑γ”镍基超级合金的电化学加工的电解质，其包含：‑相对于电解质的总重量，含量在10重量％至30重量％之间的NaNO
- 用于γ-γ’镍基超级合金电化学加工的电解质-201980083385.3
- M·姆萨克尼马楼彻;J·勒康特;M·兰契奇;N·斯坦;C·鲍朗格 - 赛峰飞机发动机公司;洛林大学;国家科学研究中心
- 2019-12-17 - 2021-10-22 - C25F3/22
- 本发明涉及用于γ‑γ'镍基超级合金的电化学加工的电解质，其包含：‑相对于电解质的总重量，含量在10重量％至50重量％的NaNO
- 一种电解抛光药水及电解抛光加工工艺-202110533166.X
- 周建文 - 安徽昀水表面科技有限公司
- 2021-05-17 - 2021-09-03 - C25F3/22
- 本发明涉及一种电解抛光药水及电解抛光加工工艺，属于铜表面加工技术领域。该药水的各成分的质量百分含量如下，50～70wt%的磷酸，其余成分为无水乙醇。该合金的制备步骤为，将除油粉以40‑80g/L与去离子水混合，将混合后的液体加热至60度倒入电解槽中，放入待加工工件，待加工工件作为阴极，阳极为316不锈钢，电解电压控制在4‑7V范围，电解除油时间控制在50‑150秒范围，进行电解除油，完成电解除油后，使用去离子水对工件进行水洗，加入如上所述的药水进行电解抛光后用去离子水水洗烘干；本发明通过改善原有电解抛光药水成分的配比和加工工艺，使得铜材的表面光滑度得到了明显的提高。
- 电解抛光液以及镍钛合金的电解抛光方法-202110434545.3
- 不公告发明人 - 中国石油大学（北京）
- 2021-04-22 - 2021-09-03 - C25F3/22
- 本发明提供一种电解抛光液以及镍钛合金的电解抛光方法，所述电解抛光液包括以下组分：硫酸、草酸、醇和水，其中，硫酸的体积分数为2‑10％，草酸的体积分数为70‑85％，醇的体积分数为8‑15％，余量为水。将上述电解抛光液置于电解槽中，待抛光镍钛合金作为电解槽的阳极，使待抛光部分浸没于电解抛光液中，实现对待抛光部分的抛光处理。本发明的电解抛光液原料便宜易得、制备简单、成本低、易于存储，并且该电解抛光液可以在室温下使用，进一步降低了抛光成本，本发明应用于镍钛合金的电解抛光方法，可以提高材料表面平整度的同时进一步提高镍钛合金的耐腐蚀性。
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