[发明专利]溅射装置有效
| 申请号： | 201611128345.0 | 申请日： | 2016-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN106854753B | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 孙尚佑;姜贤株;郑敞午 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 齐葵;周艳玲 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种溅射装置。本发明一实施例的溅射装置包括：工艺腔室；溅射靶，设置于所述工艺腔室的内部；基板架，与所述溅射靶相对配置，用于支撑待沉积溅射靶物质的基板；以及溅射靶驱动部，以使所述溅射靶倾斜的方式旋转驱动所述溅射靶。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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