[发明专利]鳍式场效应晶体管器件

摘要

提供鳍式场效应晶体管器件及其形成方法。一种鳍式场效应晶体管器件包括具有至少一个鳍片的衬底、第一栅堆叠以及第二栅堆叠、第一应变层以及第二应变层、第一介电层以及第二介电层，以及第一连接件以及第二连接件。第一栅堆叠以及第二栅堆叠横跨所述鳍片。第一应变层以及第二应变层分别在第一栅堆叠以及第二栅堆叠侧边。第一介电层以及第二介电层分别在第一应变层以及第二应变层上方，且第一介电层的顶表面低于第二介电层的顶表面。第一连接件通过第一介电层且电连接到第一应变层。第二连接件通过第二介电层且电连接到第二应变层。此外，第二连接件的宽度大于第一连接件的宽度。

主权项

一种鳍式场效应晶体管器件，其特征在于包括：衬底，具有至少一个鳍片；第一栅堆叠以及第二栅堆叠，横跨所述至少一个鳍片；第一应变层，在所述第一栅堆叠侧边；第二应变层，在所述第二栅堆叠侧边；第一介电层，在所述第一应变层上方；第二介电层，在所述第二应变层上方，其中所述第一介电层的顶表面低于所述第二介电层的顶表面；第一连接件，通过所述第一介电层且电连接到所述第一应变层；以及第二连接件，通过所述第二介电层且电连接到所述第二应变层，其中所述第二连接件的宽度大于所述第一连接件的宽度。