[发明专利]一种多层膜电化学沉积设备及方法在审
| 申请号： | 201611035297.0 | 申请日： | 2016-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN107012498A | 公开（公告）日： | 2017-08-04 |
| 发明（设计）人： | 萧国瑞 | 申请（专利权）人： | 瑞尔太阳能投资有限公司 |
| 主分类号： | C25D17/02 | 分类号： | C25D17/02;C25D9/04;H01L31/18 |
| 代理公司： | 济南誉丰专利代理事务所(普通合伙企业)37240 | 代理人： | 李茜 |
| 地址： | 中国香港九龙长沙湾长*** | 国省代码： | 香港;81 |
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| 摘要： | 本发明提供一种多层膜电化学沉积设备及方法，所述设备包括电沉积腔和多个电沉积液存储装置，每个电沉积液存储装置的两端分别设有电沉积液出口和电沉积液入口，每个电沉积液出口和电沉积液入口处均设有阀门，电沉积腔的两端分别与多个的电沉积液出口和电沉积液入口连通，电沉积腔内固定有阴极材料和阳极材料，阴极材料和阳极材料之间连接有电压源。本发明的电沉积腔同时连通多种电沉积液存储装置，可以通过依次切换电沉积腔与不同电沉积液存储设备的连通使不同电沉积液流经阴极材料和阳极材料之间来完成多层膜的镀制，整个过程无需移动阴极材料和阳极材料，无需更换电沉积设备，避免多层膜接口在电镀设备传送过层中产生污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多层 电化学 沉积 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种多层膜电化学沉积设备，其特征在于，所述设备包括电沉积腔（10）和多个电沉积液存储装置，每个电沉积液存储装置的两端分别设有电沉积液出口和电沉积液入口，每个电沉积液出口和电沉积液入口处均设有阀门（40），所述电沉积腔（10）的两端分别与多个电沉积液存储装置的电沉积液出口和电沉积液入口连通，所述电沉积腔（10）内固定有阴极材料（11）和阳极材料（12），所述阴极材料（11）和阳极材料（12）之间连接有电压源（13）。
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- 本实用新型公开了一种用于微型电子元器件的离心电镀机，包括镍阳极、锡阳极、阴极离心电镀缸、清洗管和接水槽，所述镍阳极、锡阳极、清洗管以及接水槽在水平方向上的位置固定不动，所述阴极离心电镀缸安装于直线滑台上可沿水平方向直线移动，沿着阴极离心电镀缸的移动方向，依次设有上下料工位、镀镍工位、清洗工位、镀锡工位，所述镍阳极位于镀镍工位的上方，所述清洗管位于清洗工位的上方，所述锡阳极位于镀锡工位的上方，所述接水槽沿着阴极离心电镀缸的移动方向布置，并对应上下料工位、镀镍工位、清洗工位、镀锡工位分为a、b、c、d四个接水区。本实用新型具有结构简单紧凑、故障率低、可靠性高、生产效率高等优点。
- 一种可旋转的超临界电沉积装置-201810402016.3
- 雷卫宁;王剑桥;邓瑶;李小平;张扬;侯文达;王康 - 江苏理工学院
- 2018-04-28 - 2019-08-27 - C25D17/02
- 本发明属于电化学加工技术领域，尤其涉及一种可旋转的超临界电沉积装置，包括反应釜组件和基座组件，反应釜组件包括具有内腔的反应釜本体、活塞和第一驱动系统，活塞设置在内腔中，且其与内腔之间形成沉积腔，第一驱动系统用于驱动活塞运动控制沉积腔的大小，基座组件包括底座、转动设置在底座上的旋转盘和用于驱动旋转盘转动的第二驱动系统，旋转盘上设置有釜壁夹具，釜壁夹具用于夹持反应釜本体。有益效果：本发明的旋转盘带动反应釜组件转动，保证电沉积过程中沉积腔内镀液的均匀流动，有利于阴极附近的离子得到迅速补充，减轻浓差极化现象带来的影响，提高沉积层的致密性和平整性，为提升沉积层的表面质量和力学性能提供了一种新方法。
- 一种具有清洗结构的电解槽-201821964234.8
- 易林 - 湖北大江环科防腐工程技术有限公司
- 2018-11-27 - 2019-08-16 - C25D17/02
- 本实用新型涉及电解槽技术领域，尤其是一种具有清洗结构的电解槽，包括底座，底座的底部设有支撑横梁，底座的顶部设有电解槽体，电解槽体的一侧设有供水装置，供水装置的内部设有加热室和冷凝室，加热室内设有加热管，加热室和冷凝室之间设有蒸汽通道，冷凝室内设有冷凝板，冷凝室的一侧设有进水口，供水装置的一侧设有高压水泵，高压水泵的进口端固定连接有进水管，高压水泵的出口端固定连接有出水管，出水管远离高压水泵的一端设有塑料喷水管，塑料喷水管上设有高压喷头，电解槽体的外侧壁上设有废水泵，废水泵进口端固定连接有第一废水管，废水泵的出口端固定连接有第二废水管。本实用新型的实用性强，值得推广。
- 一种耐酸耐碱不锈钢结构的电镀五金槽体铸件-201821806342.2
- 曾育芬 - 深圳市桑达兴业机械实业有限公司
- 2018-11-01 - 2019-08-13 - C25D17/02
- 一种耐酸耐碱不锈钢结构的电镀五金槽体铸件，本实用新型涉及电镀设备技术领域，其中槽体上通过转轴铰设有固定座，固定座上固定设置有支架，支架上固定设置有链板，支架上固定设置有导向辊，链板上活动架设有挂架，其中链板的板面上设置有限位槽，挂架卡设在限位槽内；槽体上固定设置有滑槽，滑槽内滑动设置有滑块，滑块上设置有凹槽，支架上远离铰接端的端头活动设置在滑块上的凹槽内；其在槽体上设置了可晃动的支架，支架上通过可移动的链板设置有挂架，挂架取下方便，可通过链板前后移动，同时支架可晃动，从而使得挂架及挂架上的工件在槽体中的电镀液中晃动，强化电镀加工效果。
- 一种PCB板电镀槽-201821415540.6
- 孙仕明;王雪娥 - 昆山雅鑫化工有限公司
- 2018-08-30 - 2019-07-26 - C25D17/02
- 本实用新型公开了一种PCB板电镀槽，包括方形的槽体，所述槽体包括槽底和围设于槽底的侧壁，所述槽体内靠近槽体底部水平设有至少一个螺纹搅拌辊，所述螺纹搅拌辊包括中空的搅拌辊本体和设于搅拌辊本体上的中空的螺纹搅拌片，所述搅拌辊本体的内腔与螺纹搅拌片的内腔连通，所述螺纹搅拌辊一端伸出槽体并与一电机驱动连接，所述螺纹搅拌辊的内腔连接至加热气体供应管道，所述电机的控制输入端连接到一工控机的控制信号输出端。本实用新型能够实现对电镀槽内电镀液进行充分搅拌，并能对电镀液进行加热，增加电镀速度，提高电镀效率，且能保持电镀液温度恒定。
- 一种消除镀锡槽阳极梁误差的方法-201810257376.9
- 李云松 - 五冶集团上海有限公司
- 2018-03-27 - 2019-07-23 - C25D17/02
- 本发明涉及阳极梁技术领域，尤其涉及一种消除镀锡槽阳极梁误差的方法，通过将一总高度等于待安装阳极的高度的标尺工具依次放置于下阳极梁的两端部的上表面，并分别测量标尺工具依次放置于下阳极梁的两端部时标尺工具的上表面与上阳极梁的上表面之间的高度，以根据测量得到的高度分别于上阳极梁的两端支撑支座下方加减垫片，使得下阳极梁的两端部的上表面和上阳极梁的上表面之间的高度均与阳极的高度相同，从而消除了镀锡槽阳极梁高度差，有效缩短了更换阳极时间，提高了更换阳极的工作效率和安全性，且本发明方法简单、便于操作、成本低，因此具有很强的实用性。
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