[发明专利]半导体清洗设备工作状态的监测系统及检测方法

摘要

本发明公开了一种半导体清洗设备工作状态的监测系统，包括灯塔和灯塔控制单元。灯塔具有指示灯和蜂鸣器，其根据控制信号输出颜色或声音或颜色和声音的组合。灯塔控制单元与清洗设备的机械手单元、装卸载硅片单元、化学药液传输单元、清洗工艺腔室单元、暂存硅片单元、以及所述灯塔相连。灯塔控制单元通过配置文件配置每一单元的不同状态及各单元不同状态的组合与灯塔的输出之间的对应关系；并发送指令至各单元、根据各单元对指令的执行状态反馈信息发送信号至灯塔使其输出相应的颜色和/或声音。本发明使得设备操作者能够及时发现清洗设备出现问题并迅速做出响应。

主权项

一种半导体清洗设备工作状态的监测系统，所述半导体清洗设备具有包括机械手单元、装卸载硅片单元、化学药液传输单元、清洗工艺腔室单元、暂存硅片单元的多个单元，其特征在于，所述监测系统包括：灯塔，具有指示灯和蜂鸣器，其根据控制信号输出颜色或声音或颜色和声音的组合；灯塔控制单元，与所述机械手单元、装卸载硅片单元、化学药液传输单元、清洗工艺腔室单元、暂存硅片单元、以及所述灯塔相连，所述灯塔控制单元包括：配置模块，通过配置文件配置每一所述单元的不同状态及各所述单元不同状态的组合与所述灯塔的输出之间的对应关系；控制模块，用于发送指令至各所述单元、根据各所述单元对所述指令的执行状态反馈信息在所述配置文件中所对应的灯塔的输出发出相应的所述控制信号至所述灯塔。