[发明专利]声波谐振器及其制造方法在审
申请号: | 201610913961.0 | 申请日: | 2016-10-20 |
公开(公告)号: | CN107094001A | 公开(公告)日: | 2017-08-25 |
发明(设计)人: | 梁正承;李尚泫;朴皓埈;李玲揆 | 申请(专利权)人: | 三星电机株式会社 |
主分类号: | H03H9/17 | 分类号: | H03H9/17;H03H3/02 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司11286 | 代理人: | 王春芝,金光军 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种声波谐振器及其制造方法。所述声波谐振器包括基板,其中设置有过孔并具有形成在所述基板的第一表面上的膜结构;盖子,容纳所述膜结构并结合到所述基板。所述盖子包括与所述膜结构接触的支撑块。 | ||
搜索关键词: | 声波 谐振器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种声波谐振器,包括:基板,基板中设置有过孔,并具有设置在所述基板的第一表面上的膜结构;以及盖子,容纳所述膜结构并结合到所述基板,其中,所述盖子包括与所述膜结构接触的支撑块。
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