[发明专利]氧化铌溅射靶材的制备方法在审
| 申请号： | 201610893329.4 | 申请日： | 2016-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN106567046A | 公开（公告）日： | 2017-04-19 |
| 发明（设计）人： | 施玉良 | 申请（专利权）人： | 法柯特科技（江苏）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙)11489 | 代理人： | 谢磊 |
| 地址： | 224005 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种能保证在溅射工艺过程中有效起辉放电溅射的氧化铌溅射靶材的制备方法，包括如下步骤原料造粒取纯度不低于99.99％的五氧化二铌粉末原料投于造粒设备中球化造粒；高温脱氧喷涂将原料造粒步骤中所得原料装入供粉箱，将原料通过管道输送至低压高温等离子喷涂枪焰体内，原料被高温等离子焰瞬间熔化成液滴状，被高速焰流喷涂到靶材基管表面，喷涂沉积到预定厚度；等离子焰温度为15000～20000°C，焰流速度＞150m/s，在无氧高温的等离子焰体中，原料中的一部分氧键被均匀的脱去，通过XRD对靶材进行分析所得靶材的化学分子式为Nb2O4.9，采用四探针电阻仪测试所得靶材电阻率为0.06Ω·cm。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化 溅射 制备 方法 | ||
【主权项】：
氧化铌溅射靶材的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：原料造粒：取纯度不低于99.99％的五氧化二铌粉末原料投于造粒设备中球化造粒；高温脱氧喷涂：将原料造粒步骤中所得原料装入供粉箱，将原料通过管道输送至低压高温等离子喷涂枪焰体内，原料被高温等离子焰瞬间熔化成液滴状，被高速焰流喷涂到靶材基管表面，喷涂沉积到预定厚度；等离子焰温度为15000～20000°C，焰流速度＞150m/s，在无氧高温的等离子焰体中，原料中的一部分氧键被均匀的脱去，通过XRD对靶材进行分析所得靶材的化学分子式为Nb2O4.9，采用四探针电阻仪测试所得靶材电阻率为0.06Ω·cm；机械加工：待喷涂所得靶材到达所定尺寸后，对成型的靶材进行外形机械加工 ，加工后进行清洁包装即得到氧化铌溅射靶材。
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