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- [实用新型]一种动态不锈钢进、回水连接装置-CN202121341438.8有效
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施玉良
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法柯特科技（江苏）有限公司
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2021-06-18
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2021-11-30
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F16L9/18
- 本实用新型涉及靶材生产设备技术领域，尤其涉及一种动态不锈钢进、回水连接装置。包括机架，机架的一侧设置有电机，机架上部转动连接有由电机驱动转动的轴管，轴管的一端设置有法兰，轴管的另一端转动连接有总成端头，总成端头与轴管之间设置有轴承和旋转密封圈，总成端头的一侧设置有出水管，总成端头的一端设置有进水管，进水管穿过轴管内部从法兰端面伸出；机架在总成端头两侧的位置设置有固定臂，固定臂上设置有第一固定板，总成端头在与第一固定板对应的位置设置有第二固定板，第一固定板和第二固定板相连接。本实用新型既能驱动夹具旋转又能给夹具供水，结构简单、紧凑，组装方便，成本较低。
- 一种动态不锈钢回水连接装置
- [实用新型]一种用于靶材打磨的夹具-CN202121494544.X有效
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施玉良
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法柯特科技（江苏）有限公司
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2021-07-03
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2021-11-30
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B24B19/00
- 本实用新型涉及靶材打磨技术领域，尤其涉及一种用于靶材打磨的夹具。包括夹具本体，所述夹具本体的一端为装夹段，所述装夹段上设置有多个当夹具本体绕轴线沿顺时针或者逆时针方向旋转时具有增强通风作用的通风口，所述装夹段的一侧依次设置有过渡段和支撑段，所述夹具本体内部为空腔，所述空腔贯穿支撑段和过渡段并与通风口连通；所述支撑段靠近过渡段的一端设置有凹槽，所述支撑段靠近过渡段的一端设置有弹性垫，所述弹性垫的底部位于凹槽内。本实用新型在打磨氧化铌等较硬的靶材时，能对靶材进行降温，从而打磨持续的时间可以比较长，效率较高，并且具有容纳靶材伸长的空间。
- 一种用于打磨夹具
- [实用新型]一种靶材内壁控温水循环装置-CN202121535378.3有效
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施玉良
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法柯特科技（江苏）有限公司
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2021-07-09
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2021-11-30
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B05B15/00
- 本实用新型涉及靶材生产设备技术领域，尤其涉及一种靶材内壁控温水循环装置。包括水箱，所述水箱内部为空腔且上部开口，所述水箱上部的一侧设置有回水管，所述水箱下部的一侧设置有出水管，所述出水管连接水泵的进水口；所述水箱内部空腔的底部设置有加热管，所述水箱内部空腔内设置有蛇形管，所述蛇形管与冷却装置连接，所述水箱的一侧设置有热电偶，所述水箱的上部设置有上盖，所述上盖的上部设置有电机，所述电机的转轴连接有搅拌桨，所述搅拌桨向下穿透上盖且其下部位于水箱内部。本实用新型能提供具有要求温度的循环水，以使得靶材达到要求的温度。
- 一种内壁温水循环装置
- [实用新型]一种喷涂靶材用夹具-CN202121106224.2有效
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施玉良
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法柯特科技（江苏）有限公司
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2021-05-24
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2021-11-23
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C23C14/35
- 本实用新型涉及靶材生产技术领域，尤其涉及一种喷涂靶材用夹具。包括第一端头、第二端头、护套、内管和螺栓。第一端头的一端设置有法兰，另一端设置有第一伸入端。第一端头的两侧设置有螺纹孔，内部设置有进水孔。进水孔周围设置有出水孔。第一伸入端上设置有第一凹台，第一伸入端的外圆周上设置有第一密封槽。第二端头的一端设置有顶孔，另一端设置有第二伸入端。第二端头的的两侧设置有螺纹孔，内部设置有第二凹台。第二凹台底部设置有第二凹槽，两侧设置有第一凹槽。第二伸入端的外圆周上设置有第二密封槽。所述护套的上设置有配合部、保护部和阻挡部。内管两端设置有凸台。本实用新型能在喷涂时保护螺纹端口。
- 一种喷涂靶材用夹具
- [发明专利]硅硼碳溅射靶材的制备工艺-CN202110830475.3在审
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施玉良;徐文斌
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法柯特科技（江苏）有限公司
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2021-07-22
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2021-10-15
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C23C14/34
- 本发明公开了一种硅硼碳溅射靶材的制备工艺，包括如下步骤：按照质量百分比准备如下原料：硅粉95.8%‑97.2%、硼粉2%‑3%和碳粉0.8%‑1.2%；将硅粉95.8%‑97.2%、硼粉2%‑3%和碳粉0.8%‑1.2%投入V型混粉机中混合5‑6小时，然后将硅硼碳粉末投入到烘干炉中烘干2‑3小时，烘干温度控制在温度55度‑65℃。优点是：对硅硼碳混合原料进行高温等离子热熔喷涂，一次性完成高温脱氧和喷涂工艺，硅増透效果好作为靶材的基材，制成的硅硼碳溅射靶材薄膜在可见光谱范围平均透光率在95％以上，硼使靶材具备一定的导电性，加入的碳硬度高，可以使产品硬度达到7.5，改善了溅射靶材的关键性硬度指标，提高了手机触摸屏等产品的耐磨和防划伤性能，使其使用寿命更长。
- 硅硼碳溅射制备工艺
- [实用新型]一种管道用并安装更换方便的连接管件-CN202023150009.0有效
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施玉良;肖志海
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福建三明金施金属配件有限公司
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2020-12-24
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2021-09-24
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F16L11/14
- 一种管道用并安装更换方便的连接管件，包括金属伸缩管以及分别连接在金属伸缩管左、右端部上的左塑料接头和右塑料接头。本连接管件结构设计理想，采用金属伸缩管结合左、右塑料接头的设计，使得本产品可以任意角度弯折以及拉伸操作的同时，又可以与现有塑料水管以热熔或涂胶方式相连通，更换操作方便，而且安装难度小，能够实现快速便捷的更换作业，特别是处于较为狭窄空间或偏僻角落等区域的塑料水管更换作业。而且倘若在割除破损处或渗漏处的管段后，上、下连接点之间的间距略大或略小，也可以通过金属伸缩管拉伸或收缩来调节，大大地降低了安装时的专业性强度，能实现非专业性人员（如非专业的家庭成员）安装更换操作的推广使用。
- 一种管道安装更换方便接管
- [实用新型]一种靶材运输及加工中转车架-CN201921140039.8有效
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施玉良;徐文斌
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法柯特科技（江苏）有限公司
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2019-07-19
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2020-05-19
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B62B3/02
- 本实用新型公开了一种靶材运输及加工中转车架，包括车架，车架的底端焊接有对称设置的万向轮，车架的顶端设置有中转箱，中转箱底端内壁和四侧内壁连接有海绵板，中转箱的顶端开设有第一通孔，第一通孔的一侧侧壁铰接有转板，转板的底端开设有对称设置的第一凹槽，第一凹槽的一侧侧壁连接有对称设置的伸缩杆，伸缩杆的另一端焊接有压板，压板的底端连接有海绵垫，转板的顶端正中间开设有第二凹槽，第二凹槽的底端侧壁焊接有轴承座，轴承座的内部焊接有转轴，转轴远离轴承座的一端焊接有调节板，转轴的外部焊接有绕线盘。本实用新型能够快速对靶材进行保护运输，防止在颠簸路段使靶材之间发生磕碰，提高了运输质量和效率。
- 一种运输加工中转车架
- [实用新型]一种靶材的U型冷却水循环装置-CN201921140882.6有效
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施玉良;徐文斌
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法柯特科技（江苏）有限公司
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2019-07-19
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2020-05-15
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C23C14/35
- 本实用新型公开了一种靶材的U型冷却水循环装置，包括第一支撑板，第一支撑板的顶端一侧焊接有第二支撑板，第二支撑板的一侧侧壁焊接有第一固定板，第一固定板的另一端焊接有第一U型管，第一U型管的上方设置有第二U型管，第一U型管和第二U型管相互远离的一侧连接有循环管，循环管上连接有水泵，第一U型管和第二U型管的U型槽侧壁焊接有第一导热板，第一导热板相互靠近的一侧侧壁沿竖直方向开设有卡位槽，卡位槽内滑动连接有第二导热板，第二支撑板靠近第二U型管的一侧侧壁开设有滑槽。本实用新型将传统的风冷替换为水冷，不仅能够快速对多个不同大小和厚度的靶材进行水冷却，而且对冷却水进行快速循环散热，提高了冷却效率。
- 一种冷却水循环装置
- [发明专利]管状旋转高纯硅溅射靶材的制备方法-CN201610891106.4有效
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施玉良
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法柯特科技（江苏）有限公司
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2016-10-13
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2019-04-02
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C23C14/34
- 本发明公开了一种高纯度、高密度、低氧含量、低电阻率的管状旋转高纯硅溅射靶材的制备方法，包括如下步骤：靶材基管准备：选用并检验所需型号的靶材基管；基管表面预处理：将靶材基管进入基管预处理设备进行喷砂粗化、喷涂打底结合层，得到准备喷涂的靶材基管；硅粉原料准备：称取含量：99.95%‑99.99%、氧含量≤1500ppm、粒径为45‑150μm的硅粉；烘干：将所得的硅粉原料置于烘干炉中烘干；真空等离子喷涂：将靶材基管置于密封的喷涂仓内，采用大功率超音速等离子喷涂枪，使用等离子体为热源将所得硅粉加热到熔融或半熔融状态，并随高速焰流喷涂到制备好的靶材基管表面，形成致密的硅涂层。
- 管状旋转高纯溅射制备方法
- [发明专利]氧化铌溅射靶材的制备方法-CN201610893329.4在审
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施玉良
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法柯特科技（江苏）有限公司
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2016-10-13
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2017-04-19
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C23C14/34
- 本发明公开了一种能保证在溅射工艺过程中有效起辉放电溅射的氧化铌溅射靶材的制备方法，包括如下步骤原料造粒取纯度不低于99.99％的五氧化二铌粉末原料投于造粒设备中球化造粒；高温脱氧喷涂将原料造粒步骤中所得原料装入供粉箱，将原料通过管道输送至低压高温等离子喷涂枪焰体内，原料被高温等离子焰瞬间熔化成液滴状，被高速焰流喷涂到靶材基管表面，喷涂沉积到预定厚度；等离子焰温度为15000～20000°C，焰流速度＞150m/s，在无氧高温的等离子焰体中，原料中的一部分氧键被均匀的脱去，通过XRD对靶材进行分析所得靶材的化学分子式为Nb2O4.9，采用四探针电阻仪测试所得靶材电阻率为0.06Ω·cm。
- 氧化溅射制备方法
- [发明专利]硅铝溅射靶材的制备方法-CN201610891073.3在审
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施玉良
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法柯特科技（江苏）有限公司
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2016-10-13
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2017-03-15
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C23C14/34
- 本发明公开了一种高密度、低氧含量、不易脆裂的硅铝溅射靶材的制备方法，包括如下步骤靶材基管准备选用并检验所需型号的不锈钢基管；基管表面预处理将基管进入基管预处理设备进行喷砂粗化、使用镍铝合金丝，电弧喷涂法喷涂打底结合层，得到准备喷涂的靶材基管；原料准备称取含量99.9%‑99.95%、氧含量≤1000ppm、粒径45‑150um 的硅粉50kg；称取含量99.9%‑99.95%、氧含量≤1500ppm、粒径45‑100um 的高纯球形铝粉6.6kg；混粉将所得的2种原料投入V型混粉机，混合5‑6小时；烘干将混合均匀的硅铝粉原料置于烘干炉中，烘干2‑3小时，温度60℃。
- 溅射制备方法
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