[发明专利]靶材的制造方法有效
| 申请号： | 201610854357.5 | 申请日： | 2016-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN107868940B | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;仝连海 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 高静;吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种靶材的制造方法，包括：提供高纯铝原料和高纯铜原料；对所述高纯铝原料进行第一表面清理工艺；对所述高纯铜原料进行第二表面清理工艺；对完成所述第一表面清理工艺的高纯铝原料以及完成所述第二表面清理工艺的高纯铜原料进行加热熔化工艺；形成高纯铝铜合金。本发明在对高纯铝原料和高纯铜原料进行加热熔化之前，先对高纯铝原料进行第一表面清理工艺、对高纯铜原料进行第二表面清理工艺，因此可以减少杂质的引入，从而可以减少所形成高纯铝铜合金中的杂质含量，使所述高纯铝铜合金可以满足半导体用靶材的材料质量要求，进而使所形成靶材满足使用要求。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种靶材的制造方法，其特征在于，包括：提供高纯铝原料和高纯铜原料；对所述高纯铝原料进行第一表面清理工艺；对所述高纯铜原料进行第二表面清理工艺；对完成所述第一表面清理工艺的高纯铝原料以及完成所述第二表面清理工艺的高纯铜原料进行加热熔化工艺；形成高纯铝铜合金。
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