[发明专利]在线污染监测系统及方法有效
| 申请号： | 201610833793.4 | 申请日： | 2016-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN107845585B | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 田弼权;成墉益;朴准虎;朴泓荣 | 申请（专利权）人： | 非视觉污染分析科学技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 | 代理人： | 吴大建;张高洁 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及在线污染监测系统及方法。本发明的在线污染监测系统特征在于，包括：取样单元(100)，通过与使用、存储或供应化学制品的点连接的线而导入所述化学制品，并生成要传输的传输样品；主系统(200)，从所述取样单元接收所述传输样品而通过分析仪分析，其中，所述主系统通过分散配置的多个所述取样单元与传输线(300)而呈放射状连接，在所述传输线内，所述传输样品的非反应性气体位于前后而以封装的状态传输。 | ||
| 搜索关键词： | 在线 污染监测 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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