[发明专利]在线污染监测系统及方法

说明书

本发明涉及在线污染监测系统及方法。本发明的在线污染监测系统特征在于，包括：取样单元(100)，通过与使用、存储或供应化学制品的点连接的线而导入所述化学制品，并生成要传输的传输样品；主系统(200)，从所述取样单元接收所述传输样品而通过分析仪分析，其中，所述主系统通过分散配置的多个所述取样单元与传输线(300)而呈放射状连接，在所述传输线内，所述传输样品的非反应性气体位于前后而以封装的状态传输。

技术领域

本发明涉及在线污染监测系统及方法，更具体地涉及一种实时对在半导体制造工艺等中使用的化学制品污染进行在线（On-line）监测的系统及方法。

背景技术

当前，在半导体制造工艺等尖端制造产业，极微量的污染为收益率与生产力最重要的原因。由此，在生产工艺中，当实时对极微量的污染源实施分析时，能够通过防止因污染而发生的大量的不良，从而，谋求提高收益率及生产力。

但，半导体等制造业的生产装备分散配置于大规模生产线上，化学制品制造业也因罐之间的距离远，需要对化学制品监测的点也分散在宽的区域。为了监测化学制品，在每个如上所示分散的各个监测点上设置分析仪，但其存在伴随极大投资相当昂贵的分析仪的问题。

作为解决该问题的解决方案，将一个分析仪大致设置在监测点的中间距离之后，设置供在各个点上采取样本之后传输至分析仪的取样单元时，能够构成共享高成本的分析仪的系统。但，在将按如上所述方法采取的样本传输至分析仪而进行分析的系统的可靠性或效率性降低时，存在无法适用该拓扑结构（topology）的问题。

对于上述现有技术问题及课题进行了说明，但对于该问题及课题的认识并非本发明的技术领域普通技术人员了解。

发明内容

本发明的目的为提供一种在线污染监测系统及方法，将样本由多个监测点传输至分析仪进行分析，并能够确保可靠性与效率性。

本发明的一实施例的在线污染监测系统包括：取样单元，通过与供使用、存储或供应化学制品的点连接的线导入所述化学制品并生成要传输的样品（下面称为“传输样品”）；主系统，从所述取样单元接收所述传输样品而通过分析仪进行分析，其中，所述主系统通过分散配置的多个所述取样单元与传输线而呈放射状连接，在所述传输线内，所述传输样品的非反应性气体位于前后，而以封装的状态传输。

对于所述在线污染监测系统，所述取样单元将所述导入的化学制品通过去离子水稀释而生成降低黏度的所述传输样品。

对于所述在线污染监测系统，所述主系统包括：预处理部，将所述传输样品容纳于预处理器皿的状态下，蒸发所述传输样品的液体而剩下污染物，并将剩下的污染物通过回收溶液而生成回收的样品（下面称为“回收样品”）。

所述在线污染监测系统还包括：检验溶液供应部，将检验溶液供应至所述取样单元，其中，当检测出通过所述分析仪分析的所述传输样品的结果为污染时，所述取样单元使得通过所述传输线传输所述检验溶液，而通过所述分析仪检验。

本发明的一实施例的在线污染监测方法是一种在线污染监测系统中执行的在线污染监测方法，其中，在线污染监测系统，包括：取样单元，通过与供使用、存储或供应化学制品的点连接的线导入所述化学制品并生成要传输的样品（下面称为“传输样品”）；主系统，从所述取样单元接收所述传输样品而通过分析仪进行分析，其中，所述主系统通过分散配置的多个所述取样单元与传输线而呈放射状连接，在所述传输线内，所述传输样品的非反应性气体位于前后，而以封装的状态传输，该在线污染监测方法，包括如下步骤：第一步骤，所述主系统接收所述传输样品而分析；第二步骤，在检测出在所述第一步骤中的分析结果为污染的情况下，所述取样单元通过所述传输线传输检验溶液，并且，所述主系统进行分析；第三-一步骤，在所述第二步骤中的分析结果与所述检验溶液的预测不同的情况下，判断所述污染监测系统出现异常。

本发明的一实施例的在线污染监测系统及方法具有如下效果，将样本从多个监测点传输至分析仪并进行分析，能够确保可靠性与效率性。