[发明专利]在线污染监测系统及方法有效

专利信息
申请号: 201610833793.4 申请日: 2016-09-20
公开(公告)号: CN107845585B 公开(公告)日: 2021-07-16
发明(设计)人: 田弼权;成墉益;朴准虎;朴泓荣 申请(专利权)人: 非视觉污染分析科学技术有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 代理人: 吴大建;张高洁
地址: 韩国京畿*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 在线 污染监测 系统 方法
【权利要求书】:

1.一种在线污染监测系统,其特征在于,

包括:

取样单元,通过与使用、存储或供应化学制品的点连接的线而导入所述化学制品,并生成要传输的传输样品;

主系统,从所述取样单元接收所述传输样品而通过分析仪分析,

其中,所述主系统通过分散配置的多个所述取样单元与传输线而呈放射状连接,

在所述传输线内,所述传输样品的非反应性气体位于前后而以封装的状态传输;

还包括:检验溶液供应部,将检验溶液供应至所述取样单元,

当通过所述分析仪对所述传输样品分析的结果检测为污染时,所述取样单元将所述检验溶液通过所述传输线传输,通过所述分析仪检验。

2.根据权利要求1所述的在线污染监测系统,其特征在于,

所述传输线的内径为0.5mm~1.6mm,所述传输样品以借助所述非反应性气体施压的状态传输。

3.根据权利要求1所述的在线污染监测系统,其特征在于,

所述取样单元将所述导入的化学制品通过去离子水稀释而生成降低黏度的所述传输样品。

4.根据权利要求3所述的在线污染监测系统,其特征在于,

所述取样单元包括:

样品器皿,暂时存储所述导入的定量的化学制品;

DI器皿,暂时存储所述定量的去离子水。

5.根据权利要求4所述的在线污染监测系统,其特征在于,

所述取样单元还包括:

注射阀,供传递环的两端与两个口连接,

i)从所述注射阀的装载位置将暂时存储于所述样品器皿的化学制品与暂时存储于所述DI器皿的去离子水移动并填充至所述传递环而成为所述传输样品,

ii)在所述注射阀的传输位置将填充至所述传递环的所述传输样品通过所述非反应性气体推动并通过所述传输线传输。

6.根据权利要求5所述的在线污染监测系统,其特征在于,

所述DI器皿,所述样品器皿及所述传递环借助一个以上阀而串联连接,以所述DI器皿、所述样品器皿及所述传递环的顺序连接。

7.根据权利要求5所述的在线污染监测系统,其特征在于,

所述DI器皿及所述样品器皿为线圈状器皿。

8.根据权利要求1所述的在线污染监测系统,其特征在于,

所述主系统包括:

预处理部,在将所述传输样品容纳于预处理器皿的状态下,蒸发所述传输样品的液体,而留下污染物,并生成通过回收溶液回收留下的污染物的回收样品。

9.根据权利要求8所述的在线污染监测系统,其特征在于,

所述预处理部包括灯式加热器,

所述预处理器皿具有红外线透过性,至少透过由所述加热器传来的红外线。

10.根据权利要求9所述的在线污染监测系统,其特征在于,

所述预处理器皿的材质为石英、PTFE、PFA或PEEK。

11.根据权利要求8所述的在线污染监测系统,其特征在于,

所述预处理器皿的下部为U字形或V字形。

12.根据权利要求8所述的在线污染监测系统,其特征在于,

所述主系统包括:

导入部,位于所述预处理部的后端,并将定量的回收样品导入至所述分析仪,

具有T字管,有选择地将去离子水导入至通过所述分析仪导入的路径,而用于稀释所述回收样品。

13.根据权利要求8所述的在线污染监测系统,其特征在于,

所述主系统还包括:

控制部,控制所述主系统的各个部分与多个所述取样单元。

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