[发明专利]研磨垫修整方法、研磨垫修整装置及化学机械研磨设备有效
| 申请号： | 201610802247.4 | 申请日： | 2016-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN106239356B | 公开（公告）日： | 2018-02-06 |
| 发明（设计）人： | 陈盈同 | 申请（专利权）人： | 咏巨科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B37/04;B24B53/017;B24B53/14 |
| 代理公司： | 北京市商泰律师事务所11255 | 代理人： | 毛燕生 |
| 地址： | 中国台湾桃*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 研磨垫修整方法、研磨垫修整装置及化学机械研磨设备，属于研磨垫修整技术领域。先硬化位于一研磨垫的一抛光面上的一待修整区内的多个软质微结构；以及利用一修整器切削位于所述待修整区内的被硬化的多个所述软质微结构，以修整所述研磨垫的所述抛光面。硬化位于所述待修整区内的多个所述软质微结构的步骤是通过急速冷冻来完成；所述急速冷冻是在所述待修整区内喷洒一冷冻剂；所述冷冻剂为液态氮、液态氧、干冰或是冷媒。可通过在利用修整器对待修整区进行修整前，先硬化待修整区内的软质微结构，而使修整器可更容易地切削软质微结构。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 修整 方法 装置 化学 机械 设备 | ||
【主权项】：
一种研磨垫修整方法，其特征在于其包括：先硬化位于一研磨垫的一抛光面上的一待修整区内的多个软质微结构；以及利用一修整器切削位于所述待修整区内的被硬化的多个所述软质微结构，以修整所述研磨垫的所述抛光面；其中，硬化位于所述待修整区内的多个所述软质微结构的步骤是通过急速冷冻来完成；所述急速冷冻是在所述待修整区内喷洒一冷冻剂；所述冷冻剂为液态氮、液态氧、干冰或是冷媒。
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