[发明专利]一种测量大厚度比工件边蚀宽度的方法

摘要

本发明公开了一种测量大厚度比工件边蚀宽度的方法，属于照相检测技术领域，解决了解决X射线照相时测量边蚀宽度的准确性低的问题。该方法包括加工与制作标准试样，分别制作带卡槽的基板、厚板垫块、薄板试块，通过卡槽缺口制作大厚度比工件，形成厚板部分、搭接部分和薄板部分。通过一定的射线检测工艺进行拍片，采用底片数字化扫描仪将工业射线底片扫描为数字图像等步骤。可以对大厚度比工件的射线底片测量边蚀宽度的大小，方便地区分边蚀区域和非边蚀区域，从而判断边蚀严重程度，方法简单。

主权项

1.一种测量大厚度比工件边蚀宽度的方法，其特征在于，该方法包括下述步骤：1)制作与实际大厚度比工件相同材料的标准试样，标准试样包括带宽度L卡槽的基板、厚板垫块、薄板试块，在厚板垫块上部放上基板，在基板卡槽缺口处搭接薄板试块，形成厚板部分、搭接部分和薄板部分以模拟实际大厚度比工件的厚板部分、搭接部分和薄板部分分别为搭接后厚度不相同的部分；2)采用与实际大厚度比工件射线照相检测相同工艺，采用胶片对标准试样进行射线照相形成标准试样的射线照相底片，在底片上分别测量厚板部分、搭接部分以及薄板部分的黑度值；3)将射线照相底片扫描为数字图像，再次测量转化后的数字图像中厚板部分、搭接部分和薄板部分的灰度值；4)建立底片黑度与图像灰度的映射关系，同时建立实际长度与像素尺寸的对应关系；5)在数字图像上平行于卡槽口方向划直线或矩形框，直线或矩形框位于搭接部位且直线或矩形框横跨厚板部分、搭接部分和薄板部分，得到线灰度分布曲线；6)根据底片黑度与图像灰度的映射关系，计算底片上厚板部分和薄板部分之间黑度值D＝4.0的边界点对应的图像灰度值，在线灰度分布图上查找对应的图像像素点B，并查找到厚板部分和搭接部分之间的分界点像素点A；根据卡槽宽度L即搭接长度，与像素尺寸的对应关系计算AB之间的长度值LAB，边蚀宽度为L‑LAB对应的长度值。