[发明专利]COA型阵列基板及其制作方法在审
申请号: | 201610681587.6 | 申请日: | 2016-08-17 |
公开(公告)号: | CN106229318A | 公开(公告)日: | 2016-12-14 |
发明(设计)人: | 邓竹明 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L21/77 |
代理公司: | 深圳市德力知识产权代理事务所44265 | 代理人: | 林才桂 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供一种COA型阵列基板及其制作方法。本发明的COA型阵列基板,TFT层设于彩色光阻层之上,彩色光阻层与TFT层之间还设有对彩色光阻层进行保护及平坦化的平坦保护层,从而避免在彩色光阻层上设置开口来实现电极间的连接,并由于彩色光阻层被平坦保护层及栅极绝缘层整面覆盖,加强了对彩色光阻层的保护能力,能够防止气泡从彩色光阻层中渗出,从而改善了液晶显示面板出现冒泡的不良现象,且制作方法简单。本发明的COA型阵列基板的制作方法,将彩色光阻层制作于TFT层之前,并在彩色光阻层完成后继而在其上覆盖整面的平坦保护层,在不增加制程道次的情况下,能够改善液晶面板出现冒泡的不良现象,提高了产品良率。 | ||
搜索关键词: | coa 阵列 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
一种COA型阵列基板,其特征在于,包括衬底基板(10)、设于所述衬底基板(10)上的彩色光阻层(20)、覆盖所述彩色光阻层(20)的整面的平坦保护层(30)、设于所述平坦保护层(30)上的TFT层(40)、设于所述TFT层(40)上的钝化层(50)、及设于钝化层(50)上的导电层(60)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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