[发明专利]一种改性钨铌合金靶制备工方法

摘要

本发明公开了一种改性钨铌合金靶制备工方法，制作工艺简单，成品质量好，综合性能优良，用物理气相沉积方法使靶材表面金属化改性，解决钨铌合金靶材表面金属化改性这一难题。

主权项

一种改性钨铌合金靶制备工方法，该方法包括如下步骤：（1）制备靶材采用钨粉与铌粉为制作原材料，其各组分质量百分比为钨粉：85%‑95%，铌粉：5%‑15%；所述钨粉纯度≥99.99%、粒度为2‑3μm，所述铌粉纯度≥99.99%、粒度为3‑8μm；选取上述比例的原材料装入混料机，将混料机转速调整至1000‑1500转/min，开机正转6‑8h后，反转10‑15h，之后停机得粉料备用；将所得粉料装入管状橡胶模套内，用冷等静压机进行压制成型，压力为250‑300MPa，压制20‑40分钟后得靶材坯体备用；将所得靶材坯体放入烧结炉中进行分阶段升温、保温烧结，第一阶段：由室温升至700℃，升温时间为5h，炉温升至700℃后保温7h；第二阶段：由700℃升至1000℃，升温时间为4h，炉温升至1000℃后保温2h；第三阶段：由1000℃升至1250℃，升温时间为2h，炉温升至1250℃后保温1h；第四阶段：由1250℃升至1600℃，升温时间为5h，炉温升至1600℃后保温2h；第五阶段：由1600℃升至1850℃，升温时间为2h，炉温升至2000℃后保温4h；至此烧结过程完成后，取出所得金属坯体，采用循环水冷使其降至室温后备用；将所得冷却后的金属坯体加热升温至1350℃‑1600℃，并保持在此温度区间内对其进行热轧处理，将其厚度轧至5‑100mm后，自然冷却至室温，得靶材毛坯；将所得靶材毛坯的内外表面进行粗车、细磨，得到靶材；（2）改性处理在物理气相沉积设备的镀膜室装入金属或合金阴极靶材，然后将立方氮化硼微粉放入滚筒式沉积台；关闭镀膜室门，设定气相沉积参数，进行物理气相沉积镀膜；将镀膜后的立方氮化硼微粉在真空热处理炉中进行热处理，即得到表面金属化改性的钨镍合金靶材。