[发明专利]一种用于光刻运动台系统的微动台及其控制方法有效
| 申请号： | 201610617002.4 | 申请日： | 2016-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN107664923B | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 王理华;廖飞红;朱岳彬;葛黎黎;张魁斌 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 31237 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种用于光刻运动台系统的微动台及其控制方法，所述微动台安装于工件台的运动部件上，包括微动板和设置于所述微动板底部的四个垂向电机，所述四个垂向电机分设于所述微动板的两侧，每个所述垂向电机对应设置一个传感器，同侧的两个垂向电机之间设置一个Rz电机，距离所述微动板的质心30mm以内处设置有气浮解耦装置。本发明采用四个垂向电机和四个传感器根据冗余驱动原理和冗余测量原理，实现了冗余控制，降低了对微动板频率的要求，即达到50Hz带宽，微动板频率只需做到120Hz左右，降低了对贵重材料的需求，降低了成本；气浮解耦装置靠近微动板的质心而非形心，从而极大地减小了Rz电机的出力。 | ||
| 搜索关键词： | 微动板 电机 垂向 解耦装置 微动台 传感器 质心 贵重材料 冗余测量 冗余控制 冗余驱动 运动部件 工件台 运动台 光刻 减小 气浮 同侧 形心 分设 带宽 出力 | ||
【主权项】：
1.一种用于光刻运动台系统的微动台，安装于工件台的运动部件上，其特征在于，包括微动板和设置于所述微动板底部的四个垂向电机，所述四个垂向电机分设于所述微动板的两侧，每个所述垂向电机对应设置一个传感器，同侧的两个垂向电机之间设置一个Rz电机，距离所述微动板的质心30mm以内处设置有气浮解耦装置，所述运动部件与所述微动板之间还设有四个重力补偿器，所述四个重力补偿器分别与所述四个垂向电机一一对应。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司，未经上海微电子装备(集团)股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610617002.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于机动车的转向柱的粘滞阻尼器
- 下一篇：一种金属板材全自动焊接装置
