[发明专利]连续生产柔性微纳米金属网络透明导电薄膜的方法及设备

摘要

本发明公开了一种连续生产柔性微纳米金属网络透明导电薄膜的方法及设备，包括以下步骤：连续输送柔性衬底依次通过预清洗、风干、常压等离子体清洗、涂布龟裂液和加热，在柔性衬底上形成龟裂缝模板；将柔性衬底放置在真空腔中，对该真空腔抽真空；柔性衬底经过二级等离子体清洗后，镀上致密的金属薄膜，在镀膜过程中，金属薄膜材料填充到龟裂缝模板的龟裂缝中，制得柔性微纳米金属网络透明导电薄膜半成品；释放真空，从真空腔中取出半成品，去除柔性衬底上的龟裂缝模板即得。本发明实现了柔性微纳米金属网络透明导电薄膜的连续性、大面积生产，该镀膜方式适用于工业化自动连续磁控溅射生产线，可大大缩短生产周期，大幅度提高生产率。

主权项

1.一种连续生产柔性微纳米金属网络透明导电薄膜的设备，其特征在于：包括柔性衬底涂膜设备和卷绕磁控镀膜设备，所述柔性衬底涂膜设备包括用于连续输送柔性衬底的输送机构、沿输送机构的输送方向依次设置的用于预清洗柔性衬底的清洗槽、用于风干清洗后的柔性衬底的风刀、用于对柔性衬底表面进行清洁、改性和活化的常压等离子体清洗装置、用于在柔性衬底表面上涂布龟裂液的涂布装置和用于加热涂布有龟裂液的柔性衬底的加热装置，输送机构连续输送柔性衬底经过清洗槽清洗、风刀风干、常压等离子体清洗装置清洗、涂布装置涂布龟裂液和加热装置加热涂布有龟裂液的柔性衬底，在柔性衬底上形成龟裂缝模板；所述卷绕磁控镀膜设备包括真空腔、与真空腔相连的抽真空装置、设于真空腔中的磁控溅射镀膜装置、卷绕机构和二级等离子体清洗装置，所述卷绕机构主要由用于放置具有龟裂缝模板的柔性衬底的放卷机构、用于收卷柔性微纳米金属网络透明导电薄膜的收卷机构、设于放卷机构和收卷机构之间的输送机构组成，所述输送机构包括用于支承具有龟裂缝模板的柔性衬底进行镀膜的镀膜支承辊，所述磁控溅射镀膜装置的溅射部分与镀膜支承辊的辊面相对，所述镀膜支承辊内部中空且在所述镀膜支承辊内设有循环冷却水，所述二级等离子体清洗装置位于放卷机构和镀膜支承辊之间的输送机构的旁侧，具有龟裂缝模板的柔性衬底放置在真空腔的放卷机构上并放卷，通过二级等离子体清洗装置清洗，由输送机构输送经过镀膜支承辊进行镀膜，在制得柔性微纳米金属网络透明导电薄膜后由收卷机构收卷。