[发明专利]有机薄膜晶体管制备方法及设备

摘要

本发明提供一种有机薄膜晶体管制备方法，包括在基板上形成源极及漏极；通过曝光组件的激光照射所述感光辊轮带有第一电荷的感光外表面，以图案化感光外表面，在感光外表面上形成未带有电荷的沟道图案区域；显影组件对所述感光辊轮的感光外表面的沟道图案区域喷涂带有与第一电荷极性相同的第三电荷的雾化的有机材料溶液，使有机材料溶液吸附于所述沟道图案区域并构成沟道区域层；在所述基板设有源极和漏极的表层附上与所述第三电荷极性相反的第四电荷；将所述感光辊轮的感光外表面上的沟道区域层内的沟道图案转印到所述基板上并连接所述源极与漏极，以构成沟道区域。本发明还公开了一种有机薄膜晶体管制备设备。

主权项

一种有机薄膜晶体管制作设备，其特征在于，所述设备包括感光辊轮、曝光组件、显影组件及从动辊轮，所述感光辊轮包括带有第一电荷的感光外表面及带有第二电荷的感光内表面，且第一电荷与第二电荷极性相反，所述曝光组件将带有图形信息的激光照射于所述感光外表面上并在所述感光外表面上形成无电荷的图案区域，所述显影组件包括输出有机材料溶液泵及具有电极对的高压喷嘴，高压喷嘴喷出的有机材料溶液带有与第一电荷相同极性的第三电荷，并且喷出的有机材料吸附于所述图案区域，所述从动辊轮外周表面与所述感光辊轮感光外表面相切且转向相反。