[发明专利]一种MEMS加工工艺的温度监控装置及温度监控方法

摘要

本发明提供一种MEMS加工工艺的温度监控装置，包括：两个热驱执行器，每个热驱执行器均包括两个固定锚点，该两个固定锚点通过热驱梁连接，该两个热驱执行器通过一放大杠杆连接；一活动锯齿开关，包括一锯齿扣和一锯齿锁，该锯齿扣连接于所述放大杠杆的中点处，含有多个一类锯齿；该锯齿锁包括两个平行长梁，在每个长梁的内侧设有多个与所述一类锯齿配合的二类锯齿。本发明还提供一种MEMS加工工艺的温度监控方法，步骤包括：1)采用MEMS加工工艺制造功能器件时，随同一起制造上述温度监控装置；2)制造完成后查看所述温度监控装置的活动锯齿开关的齿扣度量；3)根据上述齿扣度量得到制造过程中所达到的最高温度。

主权项

1.一种MEMS加工工艺的温度监控方法，步骤包括：1)采用MEMS加工工艺制造功能器件时，随同一起制造一种温度监控装置，步骤包括：1‑1)第一次浅刻蚀，刻蚀硅片，以定义该温度监控装置的锚点；1‑2)第二次光刻，刻蚀玻璃面，腐蚀出一浅槽，溅射Au，之后剥离，以定义互联；1‑3)将该硅片与该玻璃进行阳极键合；1‑4)利用KOH减薄该硅片；1‑5)第三次光刻，刻蚀该硅片，压焊金属溅射，定义压焊pad；1‑6)第四次光刻，对该硅片进行第一次深刻蚀，以释放结构；2)制造完成后查看该温度监控装置的活动锯齿开关的齿扣度量；3)根据上述齿扣度量得到制造过程中所达到的最高温度。