[发明专利]光刻胶增粘剂涂覆装置及方法有效
| 申请号： | 201610462646.0 | 申请日： | 2016-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN105892233B | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 朱琨 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 44224 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人： | 唐清凯<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 215300江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光刻胶增粘剂涂覆装置及方法，光刻胶增粘剂涂覆装置包括：腔体；进料口，设置于所述腔体的一侧；出料口，设置于所述腔体的与所述进料口相对的一侧；喷嘴，连接于所述出料口，具有呈辐射状向基板喷涂光刻胶增粘剂的若干个导流孔，所述导流孔分别呈不同角度向基板喷涂光刻胶增粘剂。光刻胶增粘剂通过上述喷嘴的导流孔向基板的不同方向进行喷涂，以使光刻胶增粘剂能够尽可能的覆盖比较大的区域，进而使光刻胶均匀地分布于上述基板的表面。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 胶增粘剂涂覆 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光刻胶增粘剂涂覆装置，其特征在于，包括：/n腔体；/n进料口，设置于所述腔体的一侧；/n出料口，设置于所述腔体与所述进料口相对的一侧；/n喷嘴，连接于所述出料口，具有呈辐射状向基板喷涂光刻胶增粘剂的若干个导流孔；/n所述喷嘴还包括一调节件，所述调节件包括调节片，所述调节片的大小与每个所述导流孔的大小相当，所述调节片贴附在所述喷嘴的内表面；所述调节件通过差动方式改变对应所述导流孔的流量；/n以及雾化部件，用于将所述光刻胶增粘剂作雾化处理。/n
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