[发明专利]毛细管放电Z箍缩极紫外光光刻光源的收集系统

摘要

毛细管放电Z箍缩极紫外光光刻光源的收集系统，涉及毛细管放电Z箍缩13.5nm极紫外光光刻光源，为了解决多层椭球面反射镜构成的收集系统的远场均匀性不好、反射率低的问题。采用WolterI型收集系统实现，包括N层圆桶状反射镜，反射镜依次共轴嵌套，每层反射镜由回转椭球面和回转双曲面连接而成，回转椭球面和回转双曲面具有一个公共的几何焦点，各层反射镜的几何焦点重合；反射镜的回转椭球面的内表面上由中心轴所在平面截取的曲线满足方程回转双曲面的内表面上由中心轴所在平面截取的曲线满足方程本发明的远场均匀性和反射率都得到改善，适用于收集极紫外光。

主权项

毛细管放电Z箍缩极紫外光光刻光源的收集系统，采用Wolter Ⅰ型收集系统实现，包括N层圆桶状反射镜，反射镜依次共轴嵌套，每层反射镜由回转椭球面(1)和回转双曲面(2)连接而成，回转椭球面(1)和回转双曲面(2)具有一个公共的几何焦点，各层反射镜的几何焦点重合；N层反射镜由内向外依次为第1层、第2层、…、第N层，N为8、9或10，以圆桶状反射镜的中心轴作为x轴，以由反射镜向几何焦点延伸的方向为x轴正向，以几何焦点为原点，建立直角坐标系，第i层反射镜的回转椭球面(1)的内表面上由中心轴所在平面截取的曲线满足方程：(x+990)2a1i2+y2b1i2=1,]]>其中i为1、2、3、…、N，单位均为mm，a11为993.0206，b11为77.3949，a12为993.7421，b12为86.1587，a13为994.6511，b13为96.0772；a14为995.8050，b14为107.3670；a15为997.2837，b15为120.3110；a16为999.2013，b16为135.2896；a17为1001.7273，b17为152.8316；a18为1005.1230，b18为173.7018；第i层反射镜的回转双曲面(2)的内表面上由中心轴所在平面截取的曲线满足方程：(x+275)2a2i2-y2b2i2=1,]]>其中i为1、2、3、…、N，a21为270.2532，b21为50.8742，a22为269.1337，b22为56.4981，a23为267.7308，b23为62.8109，a24为265.9622，b24为69.9222，a25为263.7156，b25为77.9685，a26为260.8346，b26为87.1225，a27为257.0946，b27为97.6082，a28为252.1628，b28为109.7220；其特征在于，第i层反射镜的回转椭球面(1)的外表面上由中心轴所在平面截取的曲线满足方程：(x+990)2a3i2+y2b3i2=1,]]>其中i为1、2、3、…、N，a31为993.0206，b31为80.4215，a32为993.7421，b32为89.1851，a33为994.6511，b33为99.1036；a34为995.8050，b34为110.3934；a35为997.2837，b35为123.3373；a36为999.2013，b36为138.3158；a37为1001.7273，b37为155.8576；a38为1005.1230，b38为176.8684；第i层反射镜的回转双曲面(2)的外表面上由中心轴所在平面截取的曲线满足方程：(x+275)2a4i2-y2b4i2=1,]]>其中i为1、2、3、…、N，a41为270.2532，b41为52.8636，a42为269.1337，b42为58.4827，a43为267.7308，b43为64.7894，a44为265.9622，b44为71.8932，a45为263.7156，b45为79.9297，a46为260.8346，b46为89.0713，a47为257.0946，b47为99.5408，a48为252.1628，b48为111.6333。