[发明专利]一种导电薄膜、其制备方法及其应用在审
| 申请号： | 201610414912.2 | 申请日： | 2016-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN106119791A | 公开（公告）日： | 2016-11-16 |
| 发明（设计）人： | 郑甘裕 | 申请（专利权）人： | 郑甘裕 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/14;C23C14/08;H01L51/56;H01L51/52 |
| 代理公司： | 深圳青年人专利商标代理有限公司 44350 | 代理人： | 傅俏梅 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种导电薄膜，包括层叠的Pt层及R2O层，其中，R为锂元素，钠元素，钾元素，铷元素，铯元素中的一种。上述导电薄膜通过在Pt层的表面沉积及高功函的R2O层制备双层导电薄膜，既能保持Pt层的良好的导电性能，又使导电薄膜的功函数得到了显著的提高。本发明还提供一种导电薄膜的制备方法及应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 导电 薄膜 制备 方法 及其 应用 | ||
【主权项】：
一种导电薄膜，其特征在于，包括层叠的Pt层及R2O层。
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