[发明专利]废硅泥再利用处理方法

摘要

本发明提供一种废硅泥再利用处理方法，由于废硅泥中含有水及二乙二醇、乙二醇或聚乙二醇等液体成份，当废硅泥固体含量高于50％以上时，可凭借短时间的干燥，经干燥处理后可得回收油，以及干渣，并使干渣的含液量低于10％以下甚至于0％；若其干渣含液量小于4％时，经由混炼及轮辗中加入粘结剂及配方后，即可经由高压干粉混合成型设备成型，即可得到碳化硅锭产品；若废硅泥干渣含液量介于4－10％之间，经由混炼及轮辗程序中加入粘结剂及配方后，即可以成型设备进行压锭成型，再经干燥设备进行干燥，也可得到碳化硅锭产品；其所得到的碳化硅锭产品，供应给钢铁业作为原物料使用，而回收油则可作为二次工业利用，可达到硅泥全量资源化的目标。

主权项

一种废硅泥再利用处理方法，由晶圆加工中所产生的废切削液，在经过压滤处理后的废硅泥，其含液量小于50％重量比，废硅泥中含有硅及碳化硅等固体物质，其特征在于，废硅泥的处理方法如下：干燥：将废硅泥经过微波干燥设备进行微波干燥，微波干燥后一方面将废硅泥中的油回收做为二次工业利用，另一方面能够获得含液量小于4％重量比的废硅泥干渣；成型：将含液量小于4％重量比的废硅泥干渣，经由混炼设备中加入粘结剂及配方后充分混炼，均匀混合各种原料，再由轮辗设备进行轮辗，经过轮辗程序后则利用高压干粉混合成型设备将废硅泥干渣进行高压成型，成型后即获得碳化硅锭的产品，能够做为钢铁厂的炼钢原料。