[发明专利]废硅泥再利用处理方法

权利要求书

1.一种废硅泥再利用处理方法，由晶圆加工中所产生的废切削液，在经过压滤处理后的废硅泥，其含液量小于50％重量比，废硅泥中含有硅及碳化硅等固体物质，其特征在于，废硅泥的处理方法如下：

干燥：将废硅泥经过微波干燥设备进行微波干燥，微波干燥后一方面将废硅泥中的油回收做为二次工业利用，另一方面能够获得含液量小于4％重量比的废硅泥干渣；

成型：将含液量小于4％重量比的废硅泥干渣，经由混炼设备中加入粘结剂及配方后充分混炼，均匀混合各种原料，再由轮辗设备进行轮辗，经过轮辗程序后则利用高压干粉混合成型设备将废硅泥干渣进行高压成型，成型后即获得碳化硅锭的产品，能够做为钢铁厂的炼钢原料。

2.一种废硅泥再利用处理方法，由晶圆加工中所产生的废切削液，在经过压滤处理后的废硅泥，其含液量小于50％重量比，废硅泥中含有硅及碳化硅等固体物质，其特征在于，废硅泥的处理方法如下：

干燥：将废硅泥经过微波干燥设备进行微波干燥，微波干燥后一方面将废硅泥中的油回收做为二次工业利用，另一方面能够获得含液量在4－10％重量比之间的废硅泥干渣；

成型：将含液量在4－10％重量比之间的废硅泥干渣，经由混炼设备中加入粘结剂及配方后充分混炼，均匀混合各种原料，再由轮辗设备进行轮辗，经过轮辗程序后则利用成型设备将废硅泥干渣进行压锭成型，成型后再经过一干燥设备做更进一步的干燥，即获得碳化硅锭的产品，能够做为钢铁厂的炼钢原料。

3.一种废硅泥再利用处理方法，其特征在于：将经过各种处理方式而取得含液量小于4％重量比的废硅泥干渣，经由混炼设备中加入粘结剂及配方后充分混炼，均匀混合各种原料，再由轮辗设备经过轮辗程序，经过轮辗程序后则利用高压干粉混合成型设备将废硅泥干渣进行高压成型，成型后即获得碳化硅锭的产品，能够做为钢铁厂的炼钢原料。

4.一种废硅泥再利用处理方法，其特征在于：将经过各种处理方式而取得含液量在4－10％重量比之间的废硅泥干渣，经由混炼设备中加入粘结剂及配方后充分混炼，均匀混合各种原料，再由轮辗设备进行轮辗，经过轮辗程序后则利用成型设备将废硅泥干渣进行压锭成型，成型后再经过一干燥设备做更进一步的干燥，即获得碳化硅锭的产品，能够做为钢铁厂的炼钢原料。

5.根据权利要求1、2、3或4所述的废硅泥再利用处理方法，其特征在于，该粘结剂是水泥、烧结粉、粘土、红砖土、酚醛树脂、水玻璃、氢氧化钠、氢氧化铝胶、聚乙烯醇(PVA)、淀粉、沥青、糖蜜中的任意一种。

6.根据权利要求1、2、3或4所述的废硅泥再利用处理方法，其特征在于，该配方是纯度在90％以上的硅粉、纯度是80％以上的碳化硅粉中的任意一种。

7.根据权利要求1、2、3或4所述的废硅泥再利用处理方法，其特征在于，在该轮辗过程中添加入粘结剂与配方。

8.根据权利要求1、2、3或4所述的废硅泥再利用处理方法，其特征在于，该成品的碳化硅锭强度系大于100kg/cm²。

9.根据权利要求2或4所述的废硅泥再利用处理方法，其特征在于，该成型制程中的干燥设备是真空微波干燥设备或其他真空干燥设备。