[发明专利]一种用于金属镀膜的矩形磁控溅射靶

摘要

本发明公开了一种用于金属镀膜的矩形磁控溅射靶，包括阳极座、水冷靶座、磁铁组件、靶材和靶背板，阳极座设有矩形安装槽，水冷靶座安装于矩形安装槽内，磁铁组件安装于水冷靶座内并通过靶背板密封，靶材装设于靶背板上，磁铁组件包括中心磁铁、两个端部磁铁和多个侧部磁铁，两个端部磁铁和多个侧部磁铁构成矩形磁铁框，中心磁铁沿矩形磁铁框长度方向固定于矩形磁铁框内部，每个侧部磁铁固设一固定块，水冷靶座内设有多个安装凸块，所述固定块与安装凸块一一对应，固定块可移动的与安装凸块连接。本发明可改变靶材表面磁场强度分布，提高矩形磁控溅射靶的沉膜均匀性，增大溅射靶有效沉膜区域，提高靶材的利用率。

主权项

1.一种用于金属镀膜的矩形磁控溅射靶，其特征在于：包括阳极座（1）、水冷靶座（3）、磁铁组件（4）、靶材（6）和靶背板（5），所述阳极座（1）设有矩形安装槽（11），所述水冷靶座（3）安装于矩形安装槽（11）内，所述磁铁组件（4）安装于水冷靶座（3）内并通过靶背板（5）密封，所述靶材（6）装设于靶背板（5）上，所述磁铁组件（4）包括中心磁铁（43）、两个端部磁铁（42）和多个侧部磁铁（41），所述两个端部磁铁（42）和多个侧部磁铁（41）构成矩形磁铁框，所述中心磁铁（43）沿矩形磁铁框长度方向固定于矩形磁铁框内部，每个侧部磁铁（41）固设一固定块（44），所述水冷靶座（3）内设有多个安装凸块（31），所述固定块（44）与安装凸块（31）一一对应，所述多个所述安装凸块（31）呈两排布置，所述固定块（44）可移动的与安装凸块（31）连接，所述矩形安装槽（11）的底部设有可供冷却进水管、冷却出水管穿过的进口和出口，所述水冷靶座（3）两端分别设有水冷进口和水冷出口，所述冷却进水管与所述水冷进口连通，所述冷却出水管与水冷出口连通，所述水冷进口和水冷出口位于两排安装凸块（31）之间。